技術(shù)特征：

1.一種薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，包括步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s3包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s4包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s5包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，所述根據(jù)各個所述靈敏度和各個所述線性度進(jìn)行加權(quán)計(jì)算并獲取最小綜合值的步驟包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s1包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s12的具體步驟包括：

8.一種薄膜真空計(jì)優(yōu)化裝置，其特征在于，包括：

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括處理器以及存儲器，所述存儲器存儲有計(jì)算機(jī)可讀取指令，當(dāng)所述計(jì)算機(jī)可讀取指令由所述處理器執(zhí)行時，運(yùn)行如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法中的步驟。

10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，其上存儲有計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時運(yùn)行如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法中的步驟。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種薄膜真空計(jì)優(yōu)化方法、裝置、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)，涉及真空計(jì)結(jié)構(gòu)優(yōu)化技術(shù)領(lǐng)域。通過仿真獲取不同結(jié)構(gòu)參數(shù)下的多個電容數(shù)據(jù)和多個壓力數(shù)據(jù)，并計(jì)算不同結(jié)構(gòu)參數(shù)對應(yīng)的靈敏度和線性度，根據(jù)各個靈敏度和各個線性度獲取最優(yōu)結(jié)構(gòu)參數(shù)，最后根據(jù)最優(yōu)結(jié)構(gòu)參數(shù)輸出對應(yīng)的仿真模型以得到最終模型，從而保證選取的最終模型在靈敏度和線性度之間達(dá)到最佳平衡。

技術(shù)研發(fā)人員：安麗,彭冬梅,侯少毅,劉喬,楊振懷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：季華實(shí)驗(yàn)室
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/26