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薄膜真空計優(yōu)化方法、裝置、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:42300995

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本發(fā)明涉及真空計結(jié)構(gòu)優(yōu)化,具體而言,涉及一種薄膜真空計優(yōu)化方法、裝置、電子設(shè)備及存儲介質(zhì)。背景技術(shù)、目前,為了提高薄膜真空計的性能,結(jié)構(gòu)設(shè)計上的改進(jìn)主要依賴于實驗方法,然而,這種方法存在不足,如實驗成本高、周期長,且難以全面覆蓋所有可能的工況。因此,引入仿真改進(jìn)方法成為了一種趨勢,通過理論分析與仿真模擬相結(jié)合,可以更加深入地研究影響薄膜真空計性能的各種因素,如薄膜材料、電極結(jié)構(gòu)、尺寸等,從而提出更加有效的改進(jìn)方案,仿真方法不僅能夠降低實驗成本,縮短研發(fā)周期,還能夠提高設(shè)計的準(zhǔn)確性和可靠性。但是...
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