專利名稱：等離子顯示屏用保護(hù)膜及其制造方法、等離子顯示屏及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及等離子顯示屏，尤其是涉及其保護(hù)膜與保護(hù)膜的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，PDP(等離子顯示屏)在顯示裝置的領(lǐng)域被廣泛使用，近年來，逐漸要求大畫面、高品質(zhì)且低價格的PDP。
一般而言，PDP是以3電極面放電型為主流，該3電極面放電型是將玻璃基板上形成有維持電極及掃描電極的前面基板，與玻璃基板上形成有地址電極的背面板貼合所構(gòu)成。
在前面板與背面板之間封入密封氣體，且在掃描電極與地址電極之間施加電壓而產(chǎn)生放電時，被封入的密封氣體會等離子化，而放射紫外線。若在被所放射的紫外線照射的位置配置熒光體膜，熒光體膜會透過紫外線而發(fā)光，而射出著色光。
一般而言，在維持電極及掃描電極上形成有電介質(zhì)膜，并且，于其上形成有MgO保護(hù)膜，用以保護(hù)電介質(zhì)膜。
為了維持放電，在掃描電極與維持電極施加交流電壓時，通過密封氣體的等離子化所產(chǎn)生的陽離子會入射至掃描電極側(cè)及維持電極側(cè)，然而，維持電極及掃描電極與這兩個電極上的電介質(zhì)膜會受到保護(hù)膜保護(hù)，可避免被陽離子破壞。
因此，等離子不會造成電介質(zhì)膜損傷，不僅維持電極與掃描電極通過電介質(zhì)膜絕緣的絕緣狀態(tài)可保持，電介質(zhì)膜的靜電電容也不會改變，所以可維持等離子顯示屏的電氣特性。
近年來，因應(yīng)高功能化的要求，為了提升PDP的亮度，有提出將一般作為密封氣體使用的Ne與Xe的混合氣體中的Xe濃度從以往的5％左右提升到10％以上，以提升發(fā)光強(qiáng)度的方法。
然而，在保護(hù)膜為MgO的情況下若將密封氣體中的Xe濃度提高，放電電壓會提升，耐濺射性會降低，而造成保護(hù)膜的功能降低，所以會產(chǎn)生面板壽命變短的問題。此外，用以使PDP驅(qū)動的驅(qū)動電路亦需要對應(yīng)更高電壓的規(guī)格，會產(chǎn)生PDP驅(qū)動控制系統(tǒng)的制造成本變高的問題。
PDP的放電電壓依存于保護(hù)膜的2次電子放射系數(shù)。有提出使用功函數(shù)小于MgO的堿土類金屬的氧化物作為保護(hù)膜，將放電電壓低電壓化。
例如，日本特開2002-231129中介紹以SrO、CaO、BaO、SrO+BaO、BaO+CaO、SrO+GaO+BaO作為保護(hù)膜。
這些保護(hù)膜，對于放電中陽離子所產(chǎn)生的濺射的抵抗性比MgO弱，對PDP的壽命較為不利，所以有公開不僅在PDP的前面面板設(shè)有保護(hù)膜，至少在形成熒光體膜的背面面板亦形成保護(hù)膜，來克服壽命問題的技術(shù)。
專利文獻(xiàn)1日本特開2002-231129號公報發(fā)明內(nèi)容然而，上述公知技術(shù)的實施中，隨著保護(hù)膜形成工序的增加，會有PDP制造成本變高的問題。并且，上述保護(hù)膜如MgO一樣甚至更多地存有在放電初期必需長時間熟化處理的問題。本發(fā)明的目的在于提供一種放電電壓比MgO膜低且耐濺射性優(yōu)良的保護(hù)膜及其形成方法，以及可顯著縮短使用該保護(hù)膜的PDP的放電初期熟化處理時間的PDP制造方法。
為了解決上述課題，本發(fā)明是一種保護(hù)膜，位于第一、第二電極中的任一個或兩個電極表面，當(dāng)在上述第一、第二電極間施加電壓時，被曝露于上述第一、第二電極間所形成的等離子，其中含有SrO和CaO，上述CaO的含有率為20mol％以上、90mol％以下。
本發(fā)明是一種保護(hù)膜，其中，上述第一電極配置于第一面板的表面，上述第二電極配置于第二面板的表面。
本發(fā)明是一種等離子顯示屏，具有第一電極配置于表面的第一面板和第二電極配置于表面的第二面板，在上述第一、第二面板間，封入密封氣體，在上述第一、第二電極中的任一個或兩個表面上配置保護(hù)膜，上述保護(hù)膜曝露于上述第一、第二面板間所形成的等離子，其中，上述保護(hù)膜含有SrO和CaO，上述保護(hù)膜中上述CaO的含有率為20mol％以上、90mol％以下。
本發(fā)明是一種等離子顯示屏，其中，在上述第一面板的表面上，配置第三電極。
本發(fā)明是一種等離子顯示屏，其中，上述密封氣體含有Ne與Xe，且上述Xe的含有率為10％體積以上。
本發(fā)明是一種保護(hù)膜的形成方法，形成含有SrO和CaO的保護(hù)膜，其中，將以SrO為主成分的第一蒸鍍材料和以CaO為主成分的第二蒸鍍材料分別配置于同一真空槽內(nèi)部，控制上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣產(chǎn)生量，以上述保護(hù)膜中上述CaO的含有率成為20mol％以上、90mol％以下的方式，使上述第一、第二蒸鍍材料蒸發(fā)。
本發(fā)明是一種保護(hù)膜的制造方法，在表面形成有第一電極的第一面板和表面形成有第二電極的第二面板上，形成上述保護(hù)膜，其中，在上述第一、第二電極中的任一個或兩個電極上，配置電介質(zhì)膜，令上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣分別到達(dá)上述電介質(zhì)膜上，以在上述電介質(zhì)膜表面形成上述保護(hù)膜。
本發(fā)明是一種等離子顯示屏的制造方法，具有保護(hù)膜形成工序，將含有SrO的第一蒸鍍材料，和含有CaO的第二蒸鍍材料分別配置于同一真空槽內(nèi)部，且一邊控制蒸氣產(chǎn)生量，一邊加熱上述第一、第二蒸鍍材料，在第一、第二面板的表面，形成含有SrO和CaO且上述CaO的含有率為20mol％以上、90mol％以下；和貼合上述第一、第二面板的密封工序，其中，至少從上述保護(hù)膜的形成工序至上述密封工序在真空氣氛中進(jìn)行。
本發(fā)明以上述方式構(gòu)成，本發(fā)明的保護(hù)膜所使用的顯示裝置具有第一、第二電極。在該裝置內(nèi)事先封入形成等離子的密封氣體，且在第一、第二電極間施加電壓時，裝置的內(nèi)部會形成密封氣體的等離子，等離子中的陽離子會靠近第一、第二電極中位于負(fù)電位側(cè)的電極。
在第一、第二電極間施加直流電壓時，至少在被施加負(fù)電位的電極上配置本發(fā)明的保護(hù)膜，在第一、第二電極間施加交流電壓時，若在一邊或兩邊的電極上配置本發(fā)明的保護(hù)膜，則該保護(hù)膜可保護(hù)電極與其周圍的構(gòu)件，免于受到陽離子破壞。
在第一面板上配置維持電極與掃描電極以及在第二面板上配置地址電極的上述等離子顯示屏中，第一、第二電極成為維持電極與地址電極的組合、或掃描電極與地址電極的組合。
尤其在上述等離子顯示屏中，因為在維持電極與掃描電極之間施加高的交流電壓而形成等離子，所以可將本發(fā)明的保護(hù)膜配置在維持電極與掃描電極這兩者上。
一般而言，在等離子顯示屏中，因為維持電極上與掃描電極上配置有電介質(zhì)膜，所以可將本發(fā)明保護(hù)膜配置于維持電極上的電介質(zhì)膜表面上與掃描電極上的電介質(zhì)膜表面上，來保護(hù)電介質(zhì)膜。
使用于本發(fā)明的保護(hù)膜含有SrO與CaO兩者，將本發(fā)明保護(hù)膜中的CaO濃度設(shè)在20mol％以上、90mol％以下，相較于以往的保護(hù)膜(MgO膜)，對放電中陽離子所致濺射的耐濺射性優(yōu)良，且可使PDP的放電電壓降低，因此，具有可使面板壽命提升并降低PDP的驅(qū)動電路的成本的效果。
為了提高等離子顯示屏的亮度，使用Ne與Xe的混合氣體，即含10％體積以上的Xe的密封氣體時，放電電壓會上升，保護(hù)膜容易被蝕刻，但因本發(fā)明保護(hù)膜的耐濺射性較高，故面板壽命不會變短。
(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明，可穩(wěn)定地形成由含有SrO與CaO兩者的本發(fā)明保護(hù)膜所構(gòu)成的電子放射特性優(yōu)良的PDP保護(hù)膜。并且，可提高封入PDP內(nèi)的Ne與Xe的混合氣體中的Xe濃度，以使亮度提升，從而可制造壽命長且制造成本低的PDP。


圖1是說明本發(fā)明的等離子顯示屏的一例的透視圖。
圖2是說明本發(fā)明的等離子顯示面板的制造方法的透視圖。
圖3是說明使用SrO與CaO的混合蒸鍍材料時，保護(hù)膜的組成的曲線圖。
圖4是說明放電電壓與熟化時間的關(guān)系的曲線圖。
符號說明1 等離子顯示屏11 第一基板14 保護(hù)膜15 維持電極16 掃描電極 21 第二基板25 地址電極具體實施方式
圖1的標(biāo)記1是表示本發(fā)明的等離子顯示屏的一例。
該等離子顯示屏、具有第一、第二面板10、20。
第一面板10具有第一玻璃基板11，且在第一玻璃基板11的表面上分別配置有多個維持電極15和掃描電極16。此外，圖1中，各顯示一條維持電極15和掃描電極16。
在此，各維持電極15與各掃描電極16分別為細(xì)長形，維持電極15與掃描電極16在第一玻璃基板11表面上保持預(yù)定間隔地交互排列。
在第一玻璃基板11配置有維持電極15和掃描電極16的一側(cè)的面上，配置有由絕緣材料所構(gòu)成的電介質(zhì)膜12。相互鄰接的維持電極15和掃描電極16彼此分離，電介質(zhì)膜12以覆蓋維持電極15和掃描電極16的表面及側(cè)面的方式形成，且彼此鄰接的維持電極15與掃描電極16之間以電介質(zhì)膜12填充，因此維持電極15和掃描電極16成為彼此絕緣的狀態(tài)。
在電介質(zhì)膜12的表面上，主成分含有SrO和CaO兩者的保護(hù)膜14配置于整面，因此，成為各維持電極15上和各掃描電極16上配置有保護(hù)膜14的狀態(tài)。
第二面板20具有第二玻璃基板21。在第二玻璃基板21表面上，多條直線狀地址電極25彼此保持預(yù)定間隔地平行配置。
在第二玻璃基板21表面上的地址電極25與地址電極25之間，細(xì)長的障壁23沿著地址電極25的長度方向配置。
在彼此鄰接的障壁23間，配置有分別含有不同顏色的熒光色素的熒光體膜(紅色的熒光體膜22R、綠色的熒光體膜22G、藍(lán)色的熒光體膜22B)中的任一個，且各地址電極25形成被任一色的熒光體膜22R、22G、22B覆蓋的狀態(tài)。
第一、第二面板10、20以露出保護(hù)膜14的面與形成有障壁23的一側(cè)的面彼此相對，且維持電極15與掃描電極16相對于地址電極25形成垂直相交的方式，在對準(zhǔn)的狀態(tài)下貼合，并且，由于第二玻璃基板21表面至障壁23前端的高度，大于第二玻璃基板21表面至地址電極25表面的高度，所以障壁23的前端與第一面板10的保護(hù)膜14對接，且熒光體膜22R、22G、22B與保護(hù)膜14之間的空間成為被障壁23劃分的狀態(tài)。
圖1的標(biāo)記29表示被障壁23所劃分的各熒光體膜22R、22G、22B上的空間即發(fā)光空間，且各發(fā)光空間29中充滿了Ne與Xe的混合氣體，即，充滿含10％體積以上的Xe氣體的密封氣體。
接著，說明將該等離子顯示屏1點亮的步驟。
在所選擇的掃描電極16與地址電極25之間施加電壓時，在這些電極交差的發(fā)光單元，會引起寫入放電。
接著，在施加電壓的掃描電極16和與該掃描電極16對應(yīng)的維持電極15之間施加交流電壓時，會引起維持放電。
如上所述，保護(hù)膜14隔著電介質(zhì)膜12的地位于維持電極15、掃描電極16上，且該保護(hù)膜14的主成分含有SrO和CaO兩者，且該CaO濃度設(shè)在20mol％、90mol％以下，而構(gòu)成本發(fā)明的保護(hù)膜。
因為本發(fā)明保護(hù)膜的電子放射特性比以往的保護(hù)膜(MgO膜)高，所以即使將密封氣體的Xe濃度提高時，也可以較低的放電電壓產(chǎn)生維持放電，且通過維持放電，使密封氣體等離子化，產(chǎn)生紫外線。
此時，密封氣體的等離子化，會使第一、第二面板10、20的表面曝露于等離子，但因電介質(zhì)膜12表面上配置有保護(hù)膜14，因此電介質(zhì)膜12不會被等離子蝕刻而會受到保護(hù)。
如上所述，本發(fā)明的等離子顯示屏1可以較低的放電電壓來驅(qū)動，若可以低放電電壓驅(qū)動，即使保護(hù)膜14曝露于密封氣體的等離子，被蝕刻的速度也很慢。因此，本發(fā)明的等離子顯示屏1的壽命比以往長。
如上所述，維持電極15和掃描電極16以垂直相交于地址電極25的方式配置，并且在所選擇的掃描電極16與地址電極25交差的發(fā)光單元產(chǎn)生發(fā)光。
發(fā)光單元會產(chǎn)生紫外線的發(fā)光，當(dāng)紫外線入射至位于該發(fā)光單元的熒光體膜22R、22G、22B時，可從熒光體膜22R、22G、22B放射紅色、綠色、藍(lán)色之任一色的可見光。
此外，想要將發(fā)光單元熄滅時，則在所選擇的掃描電16和與該掃描電極16鄰接的維持電極15之間，施加比維持放電時更弱的電壓，而產(chǎn)生比維持放電更弱的放電(消去放電)時，發(fā)光空間29內(nèi)的壁電荷會被中和，發(fā)單元會變暗。
接著，說明形成本發(fā)明的保護(hù)膜14的工序的一例。
圖2的標(biāo)記2是表示成膜裝置的一例。該成膜裝置2具有兩個電子束槍(EB槍)5a、5b；和各具有4個第一、第二爐膛(hearth)3、4，其中第一爐膛3分別配置有SrO所構(gòu)成的第一蒸鍍材料，第二爐膛4分別配置有CaO所構(gòu)成的第二蒸鍍材料。
第一爐膛3在真空槽內(nèi)部排列成一行，第二爐膛4位于與第一爐膛4同一的真空槽內(nèi)部，且沿著第一爐膛3的排列方向排列。
將該真空槽內(nèi)部預(yù)先真空排氣，各第一爐膛3與各第二爐膛4分別被設(shè)置在相同的真空氣氛，一邊維持該真空氣氛，一邊從電子束槍5a、5b將電子束6a、6b照射到各爐膛3、4內(nèi)時，第一爐膛3內(nèi)的SrO與第二爐膛4內(nèi)的CaO會蒸發(fā)，SrO的蒸氣和CaO的蒸氣會被釋放到真空氣氛中。
將表面形成有維持電極15、掃描電極16以及電介質(zhì)膜12的狀態(tài)的第一玻璃基板11傳送到該真空氣氛中，在形成有維持電極15和掃描電極16的一側(cè)的面向下的狀態(tài)下，使其經(jīng)由第一、第二爐膛3、4的上方，沿著這些爐膛的排列方向行進(jìn)。
由于第一爐膛3的列與第二爐膛4的列接近配置，因此當(dāng)?shù)谝徊ＡЩ?1通過第一、第二爐膛3、4的上方位置時，SrO的蒸氣與CaO的蒸氣兩者會到達(dá)第一玻璃基板11上。
通過調(diào)節(jié)由束軌跡變更調(diào)整進(jìn)行的束照射對象爐膛3、4的變更、束照射在各爐膛3、4的時間、束照射強(qiáng)度，若將SrO的蒸氣產(chǎn)生量與CaO的蒸氣產(chǎn)生量控制在預(yù)定比例時，則可獲得在第一玻璃基板11上形成有以預(yù)定比例含有SrO與CaO的保護(hù)膜14的第一面板10。
此外，本發(fā)明的保護(hù)膜的形成方法中，第一、第二爐膛3、4的數(shù)量并不限定為各四個，第一、第二爐膛3、4的數(shù)量亦可分別為1個以上、3個以下，亦可分別為5個以上。并且，亦可在真空槽內(nèi)配置相同數(shù)量的第一、第二爐膛3、4，亦可配置不同數(shù)量的第一、第二爐膛3、4。總之，只要第一、第二爐膛3、4可在同一真空槽內(nèi)將SrO和CaO分別配置，則其數(shù)量、形狀并沒有特別限定。
再者，電子束槍5a、5b的臺數(shù)并不限定為兩臺，只要可將電子束照射在第一、第二爐膛3、4兩者，則其臺數(shù)亦可為1臺，亦可為3臺以上。
于真空氣氛中傳送形成有保護(hù)膜14的第一面板10，使之不會曝露于大氣，并將第一面板10與上述第二面板20傳送入相同的加熱用真空槽，在將加熱用真空槽內(nèi)維持真空氣氛的狀態(tài)下，令第一面板10形成有維持電極15與掃描電極16的面，與第二面板20形成有地址電極的面相對，且以維持電極與掃描電極相對于地址電極在預(yù)定位置交差的方式對準(zhǔn)。
在加熱用真空槽內(nèi)，一邊加熱第一、第二面板10、20，一邊進(jìn)行貼合后，將第一、第二面板10、20在真空氣氛中傳送，將其傳送入形成有真空氣氛的冷卻室，使之不會曝露于大氣，并且，一邊維持該冷卻室的真空氣氛，一邊將貼合的第一、第二面板冷卻。接著，在真空氣氛中，將上述密封氣體注入第一、第二面板10、20之間，注入密封氣體后，再加以密封，即可獲得等離子顯示屏1。
如上所述，本發(fā)明的制造方法中，至少從在第一面板10形成保護(hù)膜14的工序，至貼合第一、第二面板10、20的工序，以及各工序間的傳送，均是真空氣氛中進(jìn)行，所以第一、第二面板10、20不會曝露于大氣。
即，在保護(hù)膜14形成后，至貼合第一、第二面板10、20而使保護(hù)膜14密閉的期間，保護(hù)膜14不會曝露于大氣，所以即使保護(hù)膜14的主成分是由SrO和CaO等吸水性高的材料所構(gòu)成，也可防止水分的吸收。
當(dāng)SrO和CaO吸收水分時，會變質(zhì)成氫氧化物等，用于等離子顯示屏的保護(hù)膜時，其變質(zhì)會造成放電延遲的惡化或放電電壓上升等，同時也是造成穩(wěn)定放電特性的初期熟化時間增長的原因。進(jìn)入保護(hù)膜14中的水分，會移動到熒光體膜22R、22G、22B，而使熒光體膜22R、22G、22B性質(zhì)改變，造成等離子顯示屏的顯示能力降低，然而，如上述所述，本發(fā)明的制造方法中，可防止制造工序中保護(hù)膜14的水分吸收，所以可進(jìn)行放電電壓的低電壓驅(qū)動，而可獲得顯示功能優(yōu)良的等離子顯示屏1。
(實施例)(SrO-CaO濃度)改變SrO與CaO的濃度，制作第一、第二面板的保護(hù)膜14，而獲得在面內(nèi)具有300個發(fā)光單元的等離子顯示屏1。此外，各等離子顯示屏1的障壁23的高度為150μm，從地址電極25上的熒光體膜22R、22G、22B表面至維持電極15及掃描電極16上的保護(hù)膜14表面的高度即放電空間的高度為80μm，密封氣體是Ne與Xe的混合氣體(由Ne與Xe所構(gòu)成的混合氣體)，其中，含有12％體積的Xe氣體，其密封壓力是400Torr。
下述表1中，記載保護(hù)膜14中的CaO濃度(mol％)。
表1SrO-CaO復(fù)合氧化膜的放電電壓及耐濺射性測定結(jié)果

接著，使用各等離子顯示屏1，相對于300個發(fā)光單元，測定最初第一個單元在放電開始時所需的第一單元點亮電壓，與在所有的單元都點亮后使PDP的驅(qū)動電壓逐漸下降時，最后單元熄滅的最后單元熄滅電壓，并將其測定結(jié)果記載于上述表1。此外，替換含有上述SrO與CaO兩者的本發(fā)明的保護(hù)膜，而以MgO構(gòu)成保護(hù)膜14時的測定結(jié)果也一并記載于表1。
接著，將與使用于各等離子顯示屏1的保護(hù)膜相同的保護(hù)膜14，在上述密封氣體(Ne與Xe的混合氣體，含有12％體積的Xe)的等離子中曝露2000小時，并測定保護(hù)膜14被蝕刻的深度(膜厚減少量)，將其結(jié)果也記載于表1。
如上述表1清楚地表示，僅由SrO所構(gòu)成的保護(hù)膜，和具有SrO與CaO兩者的保護(hù)膜，任一個的放電電壓皆比MgO膜低。
并且，若以表1所示預(yù)定放電的蝕刻速度的倒數(shù)來定義耐濺射性，設(shè)MgO膜的耐濺射性為1時，CaO濃度為10mol％以下的范圍，含SrO與CaO兩者的本發(fā)明保護(hù)膜的耐濺射性不足1時為不良，但在20mol％以上、90mol％以下的范圍，超過1則為良好。
含有CaO濃度為20mol％的SrO與CaO兩者的本發(fā)明保護(hù)膜的耐濺射性約為1.34，當(dāng)CaO濃度為60mol％時，耐濺射性約為1.54，當(dāng)CaO濃度為90mol％時，耐濺射性約為1.37，本發(fā)明保護(hù)膜的耐濺射性在CaO濃度為60mol％時為最佳。
此外，也具有當(dāng)CaO濃度為20mol％以上、60mol％以下時，第一單元點亮電壓是穩(wěn)定在160V左右，最后單元熄滅電壓是穩(wěn)定在100V左右，且在該CaO濃度的范圍中，由于CaO濃度的不同所導(dǎo)致的放電特性的偏差較小，因此，即使單元間存在多樣濃度的偏差，也具有不會在驅(qū)動控制上造成影響的效果。
本實施形態(tài)的保護(hù)膜中，在CaO濃度為20mol％以上、90mol％以下的范圍，為了提升亮度，即使使用Ne與Xe的混合氣體作為密封氣體，即，使用含有12％體積的Xe的密封氣體，相較于使用MgO膜的情況，本發(fā)明的保護(hù)膜的放電電壓也比較低，且耐濺射性也比較優(yōu)良，可形成長壽命的PDP。因此，相對于公知的MgO膜，即使所提出的Xe濃度為10％體積以上，也可期待充分的效果。
并且，即使按照PDP的設(shè)計規(guī)格，使放電空間的高度或密封氣體壓力成為預(yù)定的設(shè)定，也可期待達(dá)到效果，而且，即使將PDP面板形成對角42″以上的尺寸，亦可期待達(dá)到效果。
(蒸鍍材料濃度)使用混合有SrO與CaO的混合材料作為蒸鍍材料，并在該混合材料照射電子束，而形成含有srO與CaO兩者的本發(fā)明保護(hù)膜，并調(diào)查以此方法所形成的保護(hù)膜的組成分析。
圖3是表示其組成分析的結(jié)果的曲線圖，由于SrO與CaO的蒸氣壓不同，故使SrO與CaO的混合材料蒸發(fā)時，混合材料的組成和保護(hù)膜的組成會產(chǎn)生偏差，如圖3所示，蒸鍍材料中CaO濃度與保護(hù)膜中CaO濃度的關(guān)系成為具有變位點的預(yù)定關(guān)系。
雖未圖示，但可確認(rèn)該關(guān)系會隨著蒸鍍材料的減少，而明顯地變化。因此，可推測所形成保護(hù)膜的組成在成膜開始時，隨著時間而變化。
相對于此，本發(fā)明的保護(hù)膜的形成方法是如圖2所示使SrO與CaO個別蒸發(fā)，如上所述，通過束照射對象爐膛的變更、束照射于各爐膛的時間、束照射強(qiáng)度等的調(diào)節(jié)，可使各蒸發(fā)源的蒸發(fā)速度最佳化。因此，使SrO與CaO個別蒸發(fā)的本發(fā)明中，SrO與CaO的比例的控制較容易，而可形成組成比例穩(wěn)定的保護(hù)膜。
此外，要形成含有利用電子束蒸鍍所產(chǎn)生的SrO與CaO兩者的本發(fā)明保護(hù)膜時，一般是使用在大氣中穩(wěn)定的SrCO3與CaCO3作為蒸鍍材料，但是，以這些蒸鍍材料形成保護(hù)膜時，PDP的放電電壓不會降低。
分析所獲得保護(hù)膜的組成的結(jié)果，可以想到由于保護(hù)膜中含有多量的碳，2次電子放射特性降低。由此得知，通過使用在大氣中不穩(wěn)定的蒸鍍材料的SrO與CaO并使之獨立蒸發(fā)，即可穩(wěn)定地獲得放電電壓較低的保護(hù)膜。
(真空氣氛連續(xù)處理)為了比較評估在真空中連續(xù)進(jìn)行從保護(hù)膜14的形成、加熱密封(第一、第二面板10、20的貼合)、到之后的冷卻所獲到的效果，以下列表2的工序進(jìn)行處理。
表2真空中的連續(xù)處理方法與干燥氣氛中的連續(xù)處理方法的比較順序

在實施例及比較例的等離子顯示屏1中，繼續(xù)進(jìn)行放電，測定放電電壓隨時間的變化，并將結(jié)果記載于圖4的曲線中。
從上述表2與圖4可明白，利用本發(fā)明制造方法制造的PDP在初期放電1小時的熟化中，放電電壓得以穩(wěn)定。
與此相比，如日本特開2002-231129所記載，從保護(hù)膜形成后到第一、第二面板10、20的貼合工序為止期間在干燥氣體(N2)的干燥氣氛中進(jìn)行的比較例中，即使經(jīng)過10小時，放電電壓也不穩(wěn)定，至放電電壓穩(wěn)定為止的時間變長。
由此得知，使用SrO與CaO的混合膜作為保護(hù)膜時，相較于干燥氣氛的制造制程，真空連續(xù)制程對于初期熟化時間的縮短非常地有效。
以上，雖以面放電型PDP為例，但本發(fā)明的保護(hù)膜也可適用于在專利文獻(xiàn)1所示的第二面板20側(cè)配置電介質(zhì)膜的PDP、或相對放電型PDP等需要保護(hù)膜的PDP，以及PDP的制造方法。
在第二面板20也形成本發(fā)明的保護(hù)膜時，以將從形成保護(hù)膜的工序至與第一面板10貼合的工序在真空氣氛中進(jìn)行，使之不會曝露于大氣為佳。
第一、第二基板并不限定于玻璃基板，亦可用塑料基板或陶瓷等各種材料來構(gòu)成，但至少光發(fā)射側(cè)的基板以透明為佳。
再者，只要可分別產(chǎn)生CaO的蒸氣與SrO的蒸氣，則保護(hù)膜的成膜方法并不限定于EB蒸鍍法，例如，亦可用電熱線圈等加熱部件來加熱容納SrO的爐膛3和容納CaO的爐膛4，而分別產(chǎn)生CaO的蒸氣和SrO的蒸氣。
以上，就將本發(fā)明的保護(hù)膜14隔著電介質(zhì)膜12配置于維持電極15上與掃描電極16上的情形加以說明，但本發(fā)明并不限定于此，亦可以將保護(hù)膜14配置成接觸維持電極15表面與掃描電極16表面。
并且，若將本發(fā)明的保護(hù)膜14形成于熒光體膜22R、22G、22B表面上，則地址電極25及熒光體膜22R、22G、22B亦可受到保護(hù)，免于被等離子破壞。
以上，說明了在配置于同一面板上的維持電極與掃描電極之間施加電壓，而形成等離子的情況，但本發(fā)明并不限定于此。例如，亦可在分別配置于不同面板的電極之間施加直流或交流電壓，而形成等離子，或在不同面板上的電極間施加直流電壓時，只要將本發(fā)明的保護(hù)膜配置于至少設(shè)置于負(fù)電位側(cè)的電極上即可，或在不同面板上的電極間施加交流電壓時，只要在任任一個或兩個電極上配置本發(fā)明的保護(hù)膜即可。
權(quán)利要求
1.一種保護(hù)膜，位于第一、第二電極中的任一個或兩個電極表面，當(dāng)在上述第一、第二電極間施加電壓時，被曝露于上述第一、第二電極間所形成的等離子，其中，含有SrO和CaO，上述CaO的含有率為20mol％以上、90mol％以下。
2.如權(quán)利要求1所述的保護(hù)膜，其中，上述第一電極配置于第一面板的表面，上述第二電極配置于第二面板的表面。
3.一種等離子顯示屏，具有第一電極配置于表面的第一面板和第二電極配置于表面的第二面板，在上述第一、第二面板間，封入密封氣體，在上述第一、第二電極中的任一個或兩個表面上，配置保護(hù)膜，上述保護(hù)膜曝露于上述第一、第二面板間所形成的等離子，其中上述保護(hù)膜含有SrO和CaO，上述保護(hù)膜中上述CaO的含有率為20mol％以上、90mol％以下。
4.如權(quán)利要求2所述的等離子顯示屏，其中，在上述第一面板的表面上，配置第三電極。
5.如權(quán)利要求3所述的等離子顯示屏，其中，上述密封氣體含有Ne與Xe，且上述Xe的含有率為10％體積以上。
6.一種保護(hù)膜的形成方法，形成含有SrO和CaO的保護(hù)膜，其中，將以SrO為主成分的第一蒸鍍材料，和以CaO為主成分的第二蒸鍍材料分別配置于同一真空槽內(nèi)部，控制上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣產(chǎn)生量，以上述保護(hù)膜中上述CaO的含有率成為20mol％以上、90mol％以下的方式，使上述第一、第二蒸鍍材料蒸發(fā)。
7.如權(quán)利要求6所述的保護(hù)膜的制造方法，在表面形成有第一電極的第一面板，和表面形成有第二電極的第二面板上，形成上述保護(hù)膜，其特征在于，在上述第一、第二電極中的任一個或兩個電極上，配置電介質(zhì)膜，使上述第一、第二蒸鍍材料的蒸氣分別到達(dá)上述電介質(zhì)膜上，以在上述電介質(zhì)膜表面形成上述保護(hù)膜。
8.一種等離子顯示屏的制造方法，具有保護(hù)膜形成工序，將含有SrO的第一蒸鍍材料和含有CaO的第二蒸鍍材料分別配置于同一真空槽內(nèi)部，且一邊控制蒸氣產(chǎn)生量，一邊加熱上述第一、第二蒸鍍材料，在第一、第二面板的表面，形成含有SrO和CaO且上述CaO的含有率為20mol％以上、90mol％以下；以及密封工序，貼合上述第一、第二面板，其中，至少從上述保護(hù)膜的形成工序至上述密封工序在真空氣氛中進(jìn)行。
全文摘要
本發(fā)明的等離子顯示屏(1)的維持電極(15)與地址電極(16)上的保護(hù)膜(14)的主成分均含有CaO和SrO，而該保護(hù)膜(14)中的CaO濃度為20mol％以上、90mol％以下。由于此種保護(hù)膜(14)的功函數(shù)比以往的MgO膜小，故可用比以往更低的放電電壓來發(fā)光。當(dāng)放電電壓低時，保護(hù)膜(14)被濺射的速度也會變慢，因此等離子顯示器(1)可長壽命化。并且，因為等離子氣體含有Xe氣體，所以本發(fā)明的等離子顯示器的亮度也高。
文檔編號H01J11/24GK1957436SQ200580016980
公開日2007年5月2日 申請日期2005年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月5日
發(fā)明者倉內(nèi)利春, 箱守宗人, 內(nèi)田一也, 三澤俊司 申請人:株式會社愛發(fā)科