復合阻氣膜的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種阻氣復合膜，包括基底層，表面功能層設置在基底層的一面或兩面上，其中該表面功能層包括對羥基苯甲酸與6-羥基-2-萘甲酸的第一共聚物，或者丙烯酸與二氯乙烯的第二共聚物，以及無機堆疊層，設置在表面功能層上。本發(fā)明公開的阻氣復合膜，可達到可撓曲及有效阻絕水氣，保護基板避免水解，維持長期穩(wěn)定性的有益效果，可應用于柔性電子組件的阻氣基材或背板。
【專利說明】
復合阻氣膜
技術領域
[0001] 本發(fā)明設及氣體與水氣的阻氣膜，特別是設及一種可曉曲的阻氣復合膜。
【背景技術】
[0002] 柔性電子技術領域是將光電組件制作于柔性基材上的新技術領域。由于其產(chǎn)品具 有輕、薄、易攜帶等人性化的方便特性，近年來逐漸受到全世界高科技界的重視。柔性電子 組件一般W塑料或金屬薄片為基材，而塑料基材相較于金屬薄片基材具有透明及可曉性較 高的優(yōu)點，然而塑料基材對水氣、氧氣的阻隔效果不佳，將使得光電組件中的作用層及高功 函數(shù)電極易與空氣中的水氣、氧氣反應，成為了柔性電子產(chǎn)品發(fā)展上的限制。所W，柔性電 子產(chǎn)品通常需要有一具阻氣功能的復合膜來阻隔水氣或氧氣進入光電組件內(nèi)部，W維持光 電組件的效能及延長其生命周期。
[0003] 因此，如何開發(fā)一種具有透明、可曉曲特性的阻氣復合膜，成為柔性電子產(chǎn)品發(fā)展 中的關鍵之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 有鑒于此，本發(fā)明提供一種阻氣復合膜，W期實現(xiàn)可曉曲和有效阻絕水氣的目的。
[0005] 為了實現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提供了一種阻氣復合膜，包 括：
[0006] -基底層；
[0007] 一表面功能層，設置在該基底層的一面或兩面，其中該表面功能層包括對徑基苯 甲酸與6-徑基-2-糞甲酸的第一共聚物或者丙締酸與二氯乙締的第二共聚物；W及
[0008] -無機堆疊層，設置在該表面功能層上。
[0009] 其中，該基底層的材料包括聚對苯二甲酸乙二醇醋陽T、聚糞二甲酸乙二醇醋 陽N、聚甲基丙締酸甲醋PMMA、聚碳酸醋PC、聚酸諷陽S、聚酸酸酬陽邸或其組合。
[0010] 其中，所述第一共聚物是由60-80摩爾％的對徑基苯甲酸與40-20摩爾％的6-徑 基-2-糞甲酸共聚而成。
[0011] 其中，所述第二共聚物是由10-50摩爾％的丙締酸與90-50摩爾％的二氯乙締共 聚而成。
[0012] 其中，所述表面功能層的厚度為0. 1 μπι至lOOym。
[0013] 其中，所述表面功能層的厚度為1 μηι至50 μηι。
[0014] 其中，所述無機堆疊層由至少2種選自氧化侶、氧化鋒、氧化錯、氧化給、氧化娃、 氮化銅的無機材料交互堆疊而成。
[0015] 其中，該無機堆疊層包括氧化侶與選自氧化鋒、氧化錯、氧化給、氧化娃、與氮化銅 所組成的無機材料中的至少1種材料交互堆疊而成。
[0016] 其中，所述無機堆疊層中的每一層厚度介于1 A至2 A之間，且所述無機堆疊層的 總厚度介于10皿至50皿之間。
[0017] 其中，所述無機堆疊層包括由氧化侶與氧化錯交互堆疊而成的層。
[0018] 所述的阻氣復合膜更包括一保護層設置于所述無機堆疊層之上，其中所述保護層 包括聚氨醋丙締酸醋、環(huán)氧丙締酸醋、聚丙締酸醋、聚醋或其組合。
[0019] 作為本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還提供了一種如上任意一項所述的阻氣復合膜 在柔性電子組件的阻氣基材或背板中的應用，其中所述柔性電子組件包括電子紙、有機發(fā) 光二極管、有機太陽能電池或薄膜太陽能電池。
[0020] 通過上述技術方案可知，本發(fā)明公開的阻氣復合膜，可達到可曉曲及有效阻絕水 氣，保護基板避免水解，維持長期穩(wěn)定性的有益效果，可應用于柔性電子組件的阻氣基材或 背板，所述柔性電子組件包括電子紙、有機發(fā)光二極管、有機太陽能電池或薄膜太陽能電池 等。
【附圖說明】
[0021] 圖1是本發(fā)明一實施例的阻氣復合膜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022] 圖2是本發(fā)明一實施例的無機堆疊層的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023] 圖3是本發(fā)明一實施例的阻氣復合膜的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024] 附圖標記的簡單說明： 陽0對 100 阻氣復合膜；
[0026] 110 基底層；
[0027] 120 表面功能層； 陽0測 130 無機堆疊層； 陽0巧]131 第一層無機材料層；
[0030] 132 第二層無機材料層；
[0031] 133 第Ξ層無機材料層； 陽0巧 200 阻氣復合膜； 陽03引 240 保護層。
【具體實施方式】
[0034] 為使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚明白，W下結(jié)合具體實施例，并參照 附圖，對本發(fā)明作進一步的詳細說明。
[0035] 根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例，如圖1所示，本發(fā)明公開的阻氣復合膜100包 括基底層110,表面功能層120設置在基底層110的一面或兩面；其中，表面功能層 120例如可W為包括對徑基苯甲酸（p-hy化oxybenzoic acid)與6-徑基-2-糞甲酸 化-hy^ox}f-2-naphthoic acid)的第一共聚物，或者丙締酸（ac巧lie acid)與二氯乙締 (vin^idene dichloride)的第二共聚物；W及無機堆疊層130,設置在表面功能層120上。
[0036] 根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例，基底層110可W為一柔性可曉材料，例如包含聚 對苯二甲酸乙二醇醋（PET)、聚糞二甲酸乙二醇醋（PEN)、聚甲基丙締酸甲醋（PMMA)、聚碳 酸醋（PC)、聚酸諷（PES)、聚酸酸酬（PEEK)或其組合。
[0037] 根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例，表面功能層120可W用來增加基底層110的阻氣 性與穩(wěn)定性，因此表面功能層可W選擇比基底層具有更低透氣率且高致密性的材料，并利 用例如貼合或涂布的方式設置于基底層上，使表面功能層120和無機堆疊層130形成協(xié)同 作用（synergy)來增加阻氣性。在一個具體實施例中，表面功能層120例如包括60-80摩 爾％的對徑基苯甲酸與40-20摩爾％的6-徑基-2-糞甲酸所形成的第一共聚物，當?shù)谝还?聚物中的對徑基苯甲酸的摩爾分數(shù)越高則加工性越好，當?shù)谝还簿畚镏械?-徑基-2-糞甲 酸的摩爾分數(shù)越高則阻氣性越好，但加工性越差。在另一個具體實施例中表面功能層120 例如包括10-50摩爾％的丙締酸與90-50摩爾％的二氯乙締所形成的第二共聚物。當?shù)诙?共聚物中的丙締酸的摩爾分數(shù)越高則加工性越好，當二氯乙締的摩爾分數(shù)越高則阻氣性越 好，但加工性則越差。在一個具體實施例中，表面功能層厚度可為0. 1 μ m至100 μ m，另一個 具體實施例中，表面功能層厚度為1 μ m至50 μ m。
[0038] 根據(jù)本發(fā)明的另一個具體實施例，無機堆疊層130是由多層無機層所組成，如圖2 所示，例如是先沉積第一層無機材料層131，再沉積第二層無機材料層132,又沉積第Ξ層 無機材料層133, W此類推，可W沉積多達數(shù)百層W上，而上述無機堆疊層130可使用兩種 無機材料進行交替鍛膜，形成超低針孔密度、百層W上的原子層厚度的沉積，作為主要的阻 氣層之一。在本發(fā)明的一個具體實施例中，無機堆疊層130由至少2種選自氧化侶、氧化 鋒、氧化錯、氧化給、氧化娃、氮化銅組成的無機材料交互堆疊而成。例如也可W由包括一層 氧化侶與一層至少1種選自氧化鋒、氧化錯、氧化給、氧化娃、氮化銅組成的無機材料交互 堆疊而成，又例如可W是W-層氧化侶與一層氧化錯交互堆疊，而成為數(shù)百層W上的無機 堆疊層。在一個具體實施例中，無機堆疊層130可W是W化學蒸氣沉積（CVD)、脈沖激光蒸 鍛（PLD)、原子層沉積（ALD)等鍛膜方式進行的一層又一層的無機材料層交互堆疊而成的 無機堆疊層，在另一個具體實施例中，無機堆疊層可W是WALD鍛膜方式設置在上述的表 面功能層之上，利用表面功能層和無機堆積層形成協(xié)同作用增加復合膜的阻氣性。
[0039] 根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例，每一層無機材料層的厚度為1A至2 A且無機材 料層的總厚度約為lOnm至50nm。W-層氧化侶與一層氧化錯交互堆疊而成的無機堆疊層 130為例，每一層氧化侶與每一層氧化錯的進料時間比介于20 : 10至20 : 100,在另一個 具體實施例中，氧化侶與氧化錯的進料時間比可W為20 : 20至20 : 30,先沉積一層氧化 侶再沉積一層氧化錯，在氧化錯層之上再沉積一層氧化侶，W此類推，而形成數(shù)百層無機堆 畳層。
[0040] 根據(jù)本發(fā)明的一個具體實施例，請參照圖3,阻氣復合膜200,更包括保護層240設 置于該無機堆疊層130之上，其中該保護層包括聚氨醋丙締酸醋、環(huán)氧丙締酸醋、聚丙締酸 醋、聚醋或其組合。上述保護層240兼具阻氣作用和防止無機堆疊層的刮傷，對無機堆疊層 有物理性保護效果。在本發(fā)明的一個具體實施例中，上述保護層是將一聚氨醋丙締酸醋UV 膠，涂布在上述無機堆疊層之上，并W UV曝光機固化而成的聚丙締酸醋保護層，形成基底 層110/表面功能層120/無機堆疊層130/保護層240的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。在一個具體實 施例中，上述保護層的厚度可為1 μ m至8 μ m，而另一個具體實施例中保護層的厚度亦可為 1 μ m 至 5 μ m。
[0041] 為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更清楚易懂，下文特舉數(shù)個具體 實施例配合附圖，作詳細說明如下：
[0042] 實施例1至3是采用表面功能層為對徑基苯甲酸與6-徑基-2-糞甲酸共聚物所 形成的第一共聚物，其中對徑基苯甲酸占73摩爾％，6-徑基-2-糞甲酸占27摩爾％，厚度 為 50 μηι。
[0043] 實施例1 :ΡΕΤ/表面功能層/ (Α?2〇3) 200層/保護層 W44] 在PET的基底層（厚度188 μ m)上，利用UV膠貼合上述表面功能層（厚度50 μ m)， 并進行UV固化，形成陽Τ/表面功能層結(jié)構(gòu)。并Ws甲基侶（trimet的1 aluminum，TMA)及 水為前驅(qū)物，進行純氧化侶無機堆疊層的原子層沉積。實驗步驟如下： W45] (1)導入TMA 20ms，吸附于表面功能層表面，并與表面功能層表面的-OH官能基反 應，產(chǎn)生副產(chǎn)物甲燒（CH4)。此步驟的反應式為：
[0046] A1 (邸3) 3 (g) +-0-H (S) - -0-A1 (邸3) 2 (S) +邸4。
[0047] (2)通入氮氣6s，流量為200sccm，W移除未反應的TMA及甲燒。
[0048] (3)導入水蒸氣20ms，與表面功能層表面的TMA分子中的甲基反應，產(chǎn)生副產(chǎn)物甲 燒。此步驟的反應式如下：
[0049] 2&0 (g) +-0-A1 (邸3) 2 (S) - -0-A1 (0H) 2 (S) +2邸4。 陽化0] (4)通入氮氣6s，流量為200sccm，W移除未反應的水蒸氣及甲燒。
[0051] W上完成一層Al2〇3鍛膜周期（cycle)，并重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成 PET/表面功能層上的純氧化侶無機堆積層（(Al2〇3) 200層）沉積。再W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機 堆疊層表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成保護層，從而形成PET/ 表面功能層/(AI2O3) 200層/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。將實施例1中完成的阻氣復合膜 W ASTMD3985測試方法進行測試，其氧氣穿透率為0. 05cc/m2 ·天· atm。 陽05引實施例2 :陽T/表面功能層八2啤)200層/保護層
[0053] 同實施例1中的PET/表面功能層結(jié)構(gòu)，W順-四（二甲基酷胺基）錯（IV) (tetrakis(dimeth}damido) zirconium(IV)，TDMAZr)及水為前軀物，進行純氧化錯無機堆 疊層的原子層沉積，實驗步驟如下：
[0054] (1)導入TDMAZr 20ms，吸附于表而功能層表而，并與表而功能層表面的-OH官能 基反應，產(chǎn)生副產(chǎn)物歴(邸3) 2。此步驟的反應式為： 陽化5] Zr 陽(邸3) 2] 4 (邑)+-0-H (S) 一 -0-Zr 陽(邸3) 2] 3 (S) +HN (邸3) 2。
[0056] 似通入氮氣6s，流量為200sccm，W移除未反應的TDMAZr及歴(邸3)2。
[0057] (3)導入水蒸氣20ms，與表面功能層表面的TDMAZr分子中的甲基反應，產(chǎn)生副 產(chǎn)物歴(邸3)2。此步驟的反應式如下：3H2〇(g)+-〇-Zr[N(CH3)2]3(s) --〇-Zr(OH)3(s)+3HN( 邸3) 2。
[0058] (4)通入氮氣6s，流量為2〇Osccm。
[0059] W上完成一層Zr〇2鍛膜周期，并重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成陽T/表面 功能層上的純氧化錯無機堆疊層（狂r〇2) 200層）的沉積。W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層表面 涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成保護層，從而形成PET/表面功能層/ 狂r〇2)200層/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。將實施例2中完成的阻氣復合膜W ASTM D3985 測試方法進行測試，其氧氣穿透率為0. 41cc/m2 ·天· atm。 W60] 實施例3 :陽T/表面功能層/ (A!2〇3/Zr〇2) 200層/保護層 [0061] 同實施例1中的PET/表面功能層結(jié)構(gòu)，WTMA、TDMAZr及水為前軀物，進行氧化錯 與氧化侶交錯堆疊的原子層沉積，實驗中每一鍛膜周期固定TM進料時間為20ms，改變不 同氧化錯的進料量狂ms) W觀察對阻氣性的影響。無機堆疊層的鍛膜步驟如下：
[0062] (1)導入 TMA 共 20ms。 陽〇6引 似通入氮氣Ss，流量為2〇Osccm。 |；0064] 做導入水蒸氣20ms。 |；0〇65] (4)通入氮氣6s，流量為200sccm。
[0066] 巧）導入 TDMAZr 共 X ms 狂=2, 5,10, 20, 30, 50,100, 200, 300, 500)。
[0067] 做通入氮氣6s，流量為2〇Osccm。 W側(cè) （7)導入水蒸氣20ms。 W例 做通入氮氣6s，流量為200sccm。
[0070] W上完成一次Al2〇3/Zr〇2交互鍛膜周期，重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成 PET/表面功能層上的氧化侶與氧化錯交錯的無機堆疊層（(Al2〇3/Zr〇2) 200層）沉積。隨后 W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成保 護層，從而形成PET/表面功能層/ (Al2〇3/Zr〇2) 200層/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。
[0071] 氧化侶與氧化錯進料時間可W為20 : 20至20 : 100,也可W為20 : 20至 20 : 30。其中，當氧化侶與氧化錯進料時間比為20 : 30時，根據(jù)ASTMD3985測試方法測 試的氧氣穿透率為0. 〇2cc/m2 ·天· atm,根據(jù)ASTM F1249測試方法測試的水蒸氣穿透率為 < 0. 0005g/m2 ·天。于25°C、60% RH下放置30天后，氧氣穿透率為0. 05cc/m2 ·天· atm, 水蒸氣穿透率為0.0 Olg/m2 ·天。
[0072] 將實施例1-3的實驗數(shù)據(jù)整理到表1中。 |；007；3]表 1
[0074]
[0076] 實施例4-6采用的表面功能層為丙締酸與二氯乙締所形成的第二共聚物，其中丙 締酸占30摩爾％，二氯乙締占70摩爾％，厚度為10 μ m。
[0077] 實施例4 :陽Τ/表面功能層/ (AI2O3) 200層/保護層
[0078] 實施例4的實驗條件同實施例1，差別在于實施例4的表面功能層為上述丙締酸與 二氯乙締共聚物（厚度ΙΟμπι)，形成PET/表面功能層結(jié)構(gòu)。并WTMA及水為前驅(qū)物，進行 純氧化侶無機堆疊層的原子層沉積，鍛膜步驟如實施例1。
[00巧]W上完成一層Al2〇3鍛膜周期，并重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成陽T/表 面功能層上的純氧化侶無機堆疊層（(Al2〇3) 200層）沉積。再W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層 表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成保護層，從而形成PET/表面功 能層/(Al2〇3)200層/保護層之阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。將實施例4中完成的阻氣復合膜W ASTM D3985測試方法進行測試，氧氣穿透率為0. 05cc/m2 ·天· atm。
[0080] 實施例5 :陽T/表面功能層/紅〇2) 200層/保護層
[0081] 同實施例4的PET/表面功能層結(jié)構(gòu)，并W TDMAZr及水為前軀物，進行純氧化錯無 機堆疊層的原子層沉積，鍛膜步驟如實施例2。
[0082] W上完成一層Zr〇2鍛膜周期，并重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成陽T/表面 功能層上的純氧化錯無機堆疊層（狂r〇2) 200層）沉積。并W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層表面 涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成保護層，從而形成PET/表面功能層/ 狂r〇2) 200層/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。將實施例5完成的阻氣復合膜W ASTM D3985測 試方法進行測試，氧氣穿透率為4. 5cc/m2 ·天· atm。 陽〇8引實施例6 :陽T/表面功能層/ (A!2〇3/Zr〇2) 200層/保護層 [0084] 同實施例4的PET/表面功能層結(jié)構(gòu)，并W TMA、TDMAZr及水為前軀物，進行氧化 錯與氧化侶交錯的無機堆疊層的原子層沉積，實驗中每一鍛膜周期固定TM進料時間為 20ms，改變不同氧化錯之進料量狂ms) W觀察對阻氣性的影響。無機堆疊層的鍛膜步驟如 實施例3。 陽0化]完成一次Al2〇3/Zr〇2交互鍛膜周期，并重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成陽T/ 表面功能層上的氧化錯與氧化侶交錯的無機堆疊層（(Al2〇3/Zr〇2)200層）沉積。隨后W 旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機同化而形成保護 層，從而形成PET/表面功能層/(Al2〇3/Zr〇2) 200層/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。當氧化 侶與氧化錯進料時間比為20 : 30時，于ASTM D3985測試方法下的氧氣穿透率為0. 02cc/ m2 ·天'atm,于ASTM F1249測試方法下的水蒸氣穿透率為< 0. 0005g/m2 ·天。于25°C、60% RH下放置30天后，氧氣穿透率為0. 04cc/m2 ·天· atm,水蒸氣穿透率為0.0 Olg/m2 ·天。
[0086] 將實施例4-6的實驗數(shù)據(jù)整理到表2中。
[0087] 表 2
[0088]
[0089] 從表1及表2推知，當無機堆疊層為Al2〇3/Zr〇2交互堆疊之組合時，其阻氣效果優(yōu) 于純AI2O3或純ZrO 2等單一材料堆疊。
[0090] 為了證明本發(fā)明表面功能層對于阻氣的功效，進行了比較例1-6的驗證實驗，說 明如下： 陽0川 比較例1 :PET/A!203 200層/保護層 陽09引 W PET為基底層（厚度188 μ m)。W TMA及水為前驅(qū)物，進行純氧化侶無機堆疊層 的原子層沉積，鍛膜步驟如實施例1。
[0093] 重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成PET基底層上的純氧化侶無機堆疊層沉積。 并W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成 保護層，從而形成PET/(Al2〇3)200層/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。將比較例1的阻氣復合 膜結(jié)構(gòu)根據(jù)ASTMD3985測試方法進行測試，氧氣穿透率為0. 06cc/m2 ·天· atm。
[0094] 比較例2 :陽T/Zr〇2 200層/保護層 陽0巧]W PET膜為基材，TDMAZr及水為前軀物，進行純氧化錯無機堆疊層的原子層沉積， 鍛膜步驟如實施例2。
[0096] 重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成PET基材上的純氧化錯無機堆疊層沉積。并 W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機堆疊層表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV膠，并W UV曝光機固化而形成保 護層，從而形成PET/狂r〇2) 200/保護層的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)。將比較例2的阻氣復合膜結(jié)構(gòu) 根據(jù)ASTM D3985測試方法進行測試，氧氣穿透率為8cc/m2 ·天· atm。
[0097] 比較例 3 :陽T/ (A!2〇3/Zr〇2) 200 層 / 保護層
[0098] W PET膜為基材，TM、TDMZr及水為前軀物，進行氧化錯與氧化侶交錯的無機堆 疊層的原子層沉積，實驗中每一鍛膜周期固定TM進料時間為20ms，改變不同氧化錯之進 料量狂ms) W觀察對阻氣性的影響。鍛膜步驟如實施例3。
[0099] W上完成一鍛膜周期，重復此鍛膜周期循環(huán)步驟200次，完成陽T基材上氧化錯與 氧化侶交錯的無機堆疊層沉積。隨后W旋轉(zhuǎn)涂布機于無機層表面涂布聚氨醋丙締酸醋UV 膠，并W UV曝光機固化而形成保護層，從而形成PET/ (Al2〇3/Zr〇2) 200層/保護層的阻氣復 合膜結(jié)構(gòu)。當氧化侶與氧化錯進料時間比為20 : 30時，于ASTMD3985測試方法下的氧氣 穿透率為0. 03cc/m2 ·天· atm,于ASTM F1249測試方法下的水蒸氣穿透率為< 0. 0005g/ m2·天。于25°C、60% RH下放置30天后，氧氣穿透率為0.1 cc/m2·天-atm,水蒸氣穿透率 為 0.0 lg/m2 ·天。
[0100] 比較例4 :PET/表面功能層（雙酪A與碳酷氯共聚物）/ (Al2〇3) 200層/保護層 陽101] 同實施例4的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)，比較例4僅將表面功能層改為雙酪A與光氣的共 聚物化is地enol A-phosgene copolymer)(厚度80μηι)，根據(jù)ASTM D3985測試方法測試的 氧氣穿透率為3cc/m2 ·天· atm。 陽102] 比較例5 :PET/表面功能層（雙酪A與碳酷氯共聚物）/狂州2) 200層/保護層 陽103] 同實施例5的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)，比較例5僅將表面功能層改為雙酪A與光氣的共 聚物（厚度80 μπι)，根據(jù)ASTM D3985測試方法測試的氧氣穿透率為8cc/m2 ·天· atm。 [0104] 比較例6 :陽T/表面功能層（雙酪A與碳酷氯共聚物）/ (Al2〇3/Zr〇2) 200層/保護 層
[01化]同實施例6的阻氣復合膜結(jié)構(gòu)，比較例6僅將表面功能層改為雙酪A與光氣的共 聚物（厚度80 μ m)，根據(jù)ASTM D3985測試方法測試的氧氣穿透率為1. 5cc/m2 ·天· atm。 [0106] 將使用不同表面功能層制作阻氣復合膜，根據(jù)ASTM D3985測試方法測試的氧氣穿 透率的影響數(shù)據(jù)整理如表3所示。 陽107] 表3 陽10引
陽1〇9] 氧氣穿透率（0TR)單位cc/m2 ·天· atm
[0110] 當PET在長時間置放過程中會造成表面水解，使PET與無機層接觸面產(chǎn)生缺陷，因 而降低阻氣性。本發(fā)明通過引入比PET具更高阻氣性與親和性之表面功能層，來避免PET 水解造成的缺陷，且進一步提高阻氣性，增加長期存放穩(wěn)定性。 陽111] 下面將實施例及比較例的實驗數(shù)據(jù)整理如表4所示。
[0112]表 4 陽11引
[0114] 作為本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明還提供了一種如上所述的阻氣復合膜在柔性電 子組件的阻氣基材或背板中的應用，其中所述柔性電子組件包括電子紙、有機發(fā)光二極管、 有機太陽能電池或薄膜太陽能電池。
[0115] 綜上所述，本發(fā)明公開的阻氣復合膜，可達到可曉曲及有效阻絕水氣，保護基板避 免水解，維持長期穩(wěn)定性的有益效果，可應用于柔性電子組件的阻氣基材或背板，所述柔性 電子組件包括電子紙、有機發(fā)光二極管、有機太陽能電池或薄膜太陽能電池等。
[0116] W上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳 細說明，應理解的是，W上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在 本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的保護 范圍之內(nèi)。
【主權項】
1. 一種阻氣復合膜，包括： 一基底層； 一表面功能層，設置在該基底層的一面或兩面，其中該表面功能層包括對徑基苯甲酸 與6-徑基-2-糞甲酸的第一共聚物或者丙締酸與二氯乙締的第二共聚物；W及 一無機堆疊層，設置在該表面功能層上。2. 如權利要求1所述的阻氣復合膜，其中該基底層的材料包括聚對苯二甲酸乙二醇醋 陽T、聚糞二甲酸乙二醇醋陽N、聚甲基丙締酸甲醋PMMA、聚碳酸醋PC、聚酸諷陽S、聚酸酸酬 陽邸或其組合。3. 如權利要求1所述的阻氣復合膜，其中所述第一共聚物是由60-80摩爾％的對徑基 苯甲酸與40-20摩爾％的6-徑基-2-糞甲酸共聚而成。4. 如權利要求1所述的阻氣復合膜，其中所述第二共聚物是由10-50摩爾％的丙締酸 與90-50摩爾％的二氯乙締共聚而成。5. 如權利要求1所述的阻氣復合膜，其中所述表面功能層的厚度為0. 1 μ m至100 μ m。6. 如權利要求5所述的阻氣復合膜，其中所述表面功能層的厚度為1 μ m至50 μ m。7. 如權利要求1所述的阻氣復合膜，其中所述無機堆疊層由至少2種選自氧化侶、氧化 鋒、氧化錯、氧化給、氧化娃、氮化銅的無機材料交互堆疊而成。8. 如權利要求7所述的阻氣復合膜，其中該無機堆疊層包括氧化侶與選自氧化鋒、氧 化錯、氧化給、氧化娃、與氮化銅所組成的無機材料中的至少1種材料交互堆疊而成。9. 如權利要求7所述的阻氣復合膜，其中所述無機堆疊層中的每一層厚度介于1 I至 21之間，且所述無機堆疊層的總厚度介于10皿至50皿之間。10. 如權利要求8所述的阻氣復合膜，其中所述無機堆疊層包括由氧化侶與氧化錯交 互堆疊而成的層。11. 如權利要求1所述的阻氣復合膜，更包括一保護層設置于所述無機堆疊層之上，其 中所述保護層包括聚氨醋丙締酸醋、環(huán)氧丙締酸醋、聚丙締酸醋、聚醋或其組合。12. -種如權利要求1至11任意一項所述的阻氣復合膜在柔性電子組件的阻氣基材或 背板中的應用，其中所述柔性電子組件包括電子紙、有機發(fā)光二極管、有機太陽能電池或薄 膜太陽能電池。
【文檔編號】G02F1/167GK105835464SQ201510015518
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2015年1月13日
【發(fā)明人】鄞暉恩, 龔丹誠
【申請人】財團法人工業(yè)技術研究院