本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶圓由于需經(jīng)過各種不同流程的處理且需配合工藝設(shè)備，因此會被搬運到不同的工作站。為了方便晶圓的搬運且避免受到外力碰撞，會將多個晶圓收納于晶圓暫存卡匣中。

一般來說，晶圓暫存卡匣內(nèi)設(shè)置有逐層排列的多個插槽可水平容置多個晶圓，且其一側(cè)面具有一開口可供晶圓的載出及載入。再者，于開口處亦設(shè)置有可防止晶圓于搬運時滑出的止擋構(gòu)件。然而，當(dāng)將存放晶圓的晶圓暫存卡匣搬運至下一工作站時，作業(yè)人員常會忘記解除止擋構(gòu)件對晶圓的限位，而導(dǎo)致機(jī)械手臂強(qiáng)行從開口將晶圓取出，造成晶圓撞擊止擋構(gòu)件而破裂及損壞。此外，晶圓暫存卡匣的插槽間距大于晶圓厚度，且晶圓暫存卡匣的容置空間會大于晶圓面積，因此晶圓于搬運過程中仍會在晶圓暫存卡匣內(nèi)晃動，而與晶圓暫存卡匣相互碰撞，此也會造成晶圓的破裂及損壞。因此，如何有效降低作業(yè)人員誤動作的機(jī)會及降低搬運過程中晶圓暫存卡匣與晶圓間相互碰撞的機(jī)率是業(yè)界亟欲解決的課題之一。

而，現(xiàn)在針對全自動晶圓搬送機(jī)的卡匣放置需要一個穩(wěn)定且快捷安裝的卡匣裝置來配合。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述問題，本實用新型提供了一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采用的技術(shù)方案是：一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置，其特征在于：所述晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺、用于控制卡匣載臺升降的升降軸傳動裝置和用于安裝升降軸傳動裝置的升降軸固定座，其中：

所述升降軸傳動裝置包括用于提供卡匣載臺升降的滑行導(dǎo)軌、用于控制卡匣載臺升降的絲桿和用于控制絲桿轉(zhuǎn)動的伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的主軸和絲桿一端均設(shè)有相同的同步皮帶輪，并通過同步帶連接；

升降軸固定座背面安裝有伺服電機(jī)安裝板，升降軸固定座正面設(shè)有用于固定滑行導(dǎo)軌的安裝孔、滑行道軌的限位塊和絲桿安裝座，升降軸側(cè)面分別設(shè)有延伸支架，延伸支架上分別設(shè)有光纖傳感器；

進(jìn)一步的，所述卡匣載臺分為卡匣工作面和卡匣安裝面，所述卡匣工作面設(shè)有針對卡匣的安裝槽位，所述卡匣安裝面設(shè)有與滑行道軌匹配的導(dǎo)軌座。

進(jìn)一步的，所述升降軸固定座截面為“L”型，底部設(shè)有用于將卡匣裝置固定在晶圓搬送機(jī)上的螺栓孔。

進(jìn)一步的，所述卡匣載臺呈“L”型，所述導(dǎo)軌座通過螺栓固定在卡匣安裝面上。

進(jìn)一步的，所述卡匣工作面上分別設(shè)有用于檢測卡匣存放位置的光電檢知傳感器和用于檢測卡匣存放的光電點位感應(yīng)傳感器。

進(jìn)一步的，所述光纖傳感器用于確定晶圓的存放數(shù)量及相對應(yīng)的存放 層數(shù)位置。

進(jìn)一步的，所述升降軸固定座正面還設(shè)有用于限定卡匣載臺Z軸極限行程的位置傳感器。

最后，所述絲桿上下兩端設(shè)有用于限定卡匣載臺Z軸物理極限行程的限位塊。

由上述對本實用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本設(shè)計中，伺服電機(jī)、光纖傳感器、位置傳感器、光電檢知傳感器和光電點位感應(yīng)傳感器為現(xiàn)有市場中的國標(biāo)組件，本實用新型具有如下優(yōu)點：

1、本實用新型采用伺服電機(jī)、絲桿和同步帶來聯(lián)動，保證了卡匣在Z軸上升和下降過程中的穩(wěn)定性，能較大程度的確保其Z軸方向上的穩(wěn)定性，為機(jī)械手對晶圓的提取和存放保證了機(jī)械手的動作間隙精度。

2、本實用新型通過光纖傳感器來對卡匣內(nèi)的晶圓進(jìn)行存放的精確層數(shù)和存放數(shù)量進(jìn)行檢測、掃描，并反饋到電腦數(shù)據(jù)平臺中，能從不同方面來進(jìn)行對晶圓提取和存放的操作。

3、本實用新型卡匣工作面上的光電檢知傳感器和光電點位傳感器是針對是否存放卡匣、卡匣位置是否精確的保證，以防止在提取和存放晶圓的過程中對晶圓造成損壞。

4、本實用新型通過采用伺服電機(jī)、光纖傳感器、位置傳感器、光電檢知傳感器和光電點位感應(yīng)傳感器為現(xiàn)有市場中的國標(biāo)組件，能保證其組件的穩(wěn)定性，使得本裝置使用穩(wěn)定，使用壽命長。

附圖說明

構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本實用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的錯位結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的左視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置的同步帶結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

實施例

參考圖1、圖2、圖3、圖4和圖5，一種晶圓搬送機(jī)的晶圓卡匣裝置，晶圓卡匣裝置包括用于放置晶圓的卡匣載臺1、用于控制卡匣載臺升降的升降軸傳動裝置2和用于安裝升降軸傳動裝置的升降軸固定座3，其中：

升降軸傳動裝置2包括用于提供卡匣載臺升降的滑行導(dǎo)軌4、用于控制卡匣載臺升降的絲桿5和用于控制絲桿轉(zhuǎn)動的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的主軸和絲桿一端均設(shè)有相同的同步皮帶輪6，并通過同步帶7連接；

升降軸固定座3背面安裝有伺服電機(jī)安裝板20，升降軸固定座正面設(shè)有用于固定滑行導(dǎo)軌4的安裝孔、滑行道軌的限位塊8和絲桿安裝座9，升降軸側(cè)面分別設(shè)有延伸支架10，延伸支架上分別設(shè)有光纖傳感器11；

卡匣載臺1分為卡匣工作面19和卡匣安裝面12，卡匣工作面設(shè)有針對卡匣的安裝槽位13，卡匣安裝面設(shè)有與滑行道軌匹配的導(dǎo)軌座14。

升降軸固定座3截面為“L”型，底部設(shè)有用于將卡匣裝置固定在晶圓搬送機(jī)上的螺栓孔。

卡匣載臺1呈“L”型，導(dǎo)軌座14通過螺栓固定在卡匣安裝面12上。

卡匣工作面19上分別設(shè)有用于檢測卡匣存放位置的光電檢知傳感器15和用于檢測卡匣存放的光電點位感應(yīng)傳感器16。

光纖傳感器11用于確定晶圓的存放數(shù)量及相對應(yīng)的存放層數(shù)位置。

升降軸固定座3正面還設(shè)有用于限定卡匣載臺Z軸極限行程的位置傳感器17。

絲桿5上下兩端設(shè)有用于限定卡匣載臺Z軸物理極限行程的限位塊18。

其中伺服電機(jī)、光纖傳感器、位置傳感器、光電檢知傳感器和光電點位感應(yīng)傳感器為現(xiàn)有市場中的國標(biāo)組件，伺服電機(jī)的功率依據(jù)搬送機(jī)選取。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。