本發(fā)明涉及檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體和平板顯示檢測(cè)技術(shù)。

背景技術(shù)：

對(duì)于柔性顯示產(chǎn)業(yè)，產(chǎn)品在其彎曲情況下的電學(xué)，光學(xué)性能測(cè)試要求日益苛刻，比如oled發(fā)光屏在特定彎折的情況下使用探針臺(tái)做分析測(cè)試，現(xiàn)有的手段多為手動(dòng)彎折，簡(jiǎn)單固定，不僅會(huì)由于測(cè)量條件不精確，導(dǎo)致彎曲參數(shù)相關(guān)結(jié)論誤差較大，而且會(huì)使得待測(cè)樣品的關(guān)鍵表面受到刮傷，面臨過(guò)大應(yīng)力的缺點(diǎn)，無(wú)法滿(mǎn)足精密的測(cè)試需要。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種柔性顯示材料在特定彎曲條件下的性能測(cè)試夾具，該夾具可以按具體實(shí)驗(yàn)要求使待測(cè)樣品處于特定的曲率半徑和包角，且包角連續(xù)可調(diào)，同時(shí)可以搭配探針臺(tái)等其他精密電學(xué)測(cè)量設(shè)備做電學(xué)分析使用，也可以搭配顯微鏡等其他光學(xué)設(shè)備使用，填補(bǔ)了業(yè)界的空缺。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案

針對(duì)待測(cè)樣品不同曲率半徑的測(cè)試要求，定制出多件相同高度，頂部曲率半徑不同的目標(biāo)曲率半徑模型（圖1中1），以滿(mǎn)足測(cè)試對(duì)于不同曲率半徑方面的測(cè)試要求；

針對(duì)待測(cè)樣品不同包角的測(cè)試要求，使用可精密控制垂直位移的z軸位移裝置（圖1中2），控制可滾動(dòng)壓棍（圖1中3）的下壓量，利用樣品本身的彈性，對(duì)包角做連續(xù)調(diào)節(jié)，滿(mǎn)足測(cè)試需要；

可滾動(dòng)壓棍與樣品接觸的部分覆有高摩擦力的絕緣層，在確保樣品貼合度的情況下不刮傷樣品表面，同時(shí)保證電絕緣；

可滾動(dòng)壓棍由軸承（圖1中4）保證能自由滾動(dòng)；

軸承由軸承架（圖1中5）固定，為配合不同目標(biāo)曲率半徑模型頂部的寬度，針對(duì)每件目標(biāo)曲率半徑模型，都配有一組相應(yīng)的軸承架；

軸承架和z軸位移裝置由轉(zhuǎn)接架（圖1中6）組成剛性連接；

z軸位移裝置和目標(biāo)曲率半徑模型固定于底板（圖1中7）上。

優(yōu)選的，上述性能測(cè)試夾具中，所述軸承使用滾動(dòng)軸承。

優(yōu)選的，所述z軸位移裝置使用由精密微分頭驅(qū)動(dòng)的基于交叉導(dǎo)軌的手動(dòng)位移臺(tái)。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)接架設(shè)計(jì)有安裝限位槽，用于保證更換軸承架時(shí)安裝角度與安裝位置正確。

優(yōu)選的，所述底板上設(shè)計(jì)有安裝限位槽，用于保證更換目標(biāo)曲率半徑模型時(shí)安裝的角度與位置正確，底板上還有另一安裝限位槽，用于保證安裝z軸位移裝置的安裝角度與位置正確。

優(yōu)選的，目標(biāo)曲率半徑模型表面精拋光處理。

附圖說(shuō)明

圖1一種柔性顯示材料在特定彎曲條件下的性能測(cè)試夾具結(jié)構(gòu)圖

1、目標(biāo)曲率半徑模型；2、z軸位移裝置；3、可滾動(dòng)壓棍；4、軸承；5、軸承架；6、轉(zhuǎn)接架；7、底板。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

該實(shí)施例為搭配探針臺(tái)使用，做不同曲率半徑，不同包角情況下面板有效工作區(qū)域內(nèi)單個(gè)tft逐點(diǎn)解析；

首先將轉(zhuǎn)接架，z軸位移裝置和底板互相固定好，該實(shí)施例中，z軸位移裝置使用由精密微分頭驅(qū)動(dòng)的基于交叉導(dǎo)軌的手動(dòng)位移臺(tái)；選定合適的目標(biāo)曲率半徑模型，靠著安裝限位槽固定于底板上，選取配套的軸承架，每套軸承架都已經(jīng)預(yù)先裝好了軸承和可滾動(dòng)壓棍，將軸承架靠著安裝限位槽固定到轉(zhuǎn)接架上，完成測(cè)試前的裝配；

將z軸位移裝置調(diào)至較高位置，再手動(dòng)將樣品插到兩個(gè)可滾動(dòng)壓棍和目標(biāo)曲率模型頂部之間，大致對(duì)準(zhǔn)需要測(cè)試的部位，根據(jù)需要的包角大小計(jì)算出壓棍需要下壓的位移量，使用z軸位移裝置精確地將壓棍下壓到合適位置，完成樣品的最初裝夾，下壓過(guò)程中可滾動(dòng)壓棍會(huì)隨著下壓不斷滾動(dòng)避免摩擦刮傷樣品；

抬起探針臺(tái)的顯微鏡，將裝夾了待測(cè)樣品的柔性顯示材料在特定彎曲條件下的性能測(cè)試夾具整體放到探針臺(tái)上，降下顯微鏡，對(duì)焦并觀察樣品位置是否合適，手動(dòng)移動(dòng)樣品完成最終裝夾的調(diào)整；

使用探針臺(tái)進(jìn)行面板數(shù)據(jù)分析，得到測(cè)試結(jié)果；

繼續(xù)調(diào)整z軸位移裝置，改變待測(cè)樣品包角，使用探針臺(tái)測(cè)出其他多組數(shù)據(jù)；

測(cè)試完成后抬起顯微鏡，整體取出裝夾了待測(cè)樣品的柔性顯示材料在特定彎曲條件下的性能測(cè)試夾具，將z軸位移裝置調(diào)至較高位置，取出待測(cè)樣品；

拆下目標(biāo)曲率半徑模型以及裝配了軸承和可滾動(dòng)壓棍的軸承架后，成套更換其他曲率半徑尺寸要求的目標(biāo)曲率半徑模型以及裝配了軸承和可滾動(dòng)壓棍的軸承架，即可繼續(xù)測(cè)量其他曲率半徑下的數(shù)據(jù)，完成測(cè)試。

實(shí)施例2

該實(shí)施例為連續(xù)調(diào)節(jié)柔性面板包角測(cè)試其彎曲失效極限的分析

首先將轉(zhuǎn)接架，z軸位移裝置和底板互相固定好，該實(shí)施例中，z軸位移裝置使用由精密微分頭驅(qū)動(dòng)的基于交叉導(dǎo)軌的手動(dòng)位移臺(tái)。選定合適的目標(biāo)曲率半徑模型，靠著安裝限位槽固定于底板上，選取配套的軸承架，每套軸承架都已經(jīng)預(yù)先裝好了軸承和可滾動(dòng)壓棍，將軸承架靠著安裝限位槽固定到轉(zhuǎn)接架上，完成測(cè)試前的裝配；

將z軸位移裝置調(diào)至較高位置，再手動(dòng)將樣品插到兩個(gè)可滾動(dòng)壓棍和目標(biāo)曲率模型頂部之間，使樣品在重力和彈力的作用下自然彎曲，大致對(duì)準(zhǔn)需要測(cè)試的部位，使用z軸位移裝置精確地將壓棍下壓，使之剛好壓到樣品且不對(duì)待測(cè)樣品施加壓力，完成樣品的最初裝夾；

點(diǎn)亮樣品，根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求用相關(guān)儀器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)柔性面板的發(fā)光表現(xiàn)，連續(xù)下調(diào)z軸位移裝置，逐漸增大包角，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)；

繼續(xù)增大包角，直至數(shù)據(jù)突變，樣品失效，記下下壓刻度，算出包角，記錄數(shù)據(jù)；

上調(diào)z軸位移裝置，取出原先樣品并換上同批次其他樣品，重復(fù)實(shí)驗(yàn)測(cè)出多組結(jié)果，完成測(cè)試。

以上公開(kāi)的僅為本發(fā)明的幾個(gè)具體實(shí)施例，但是本發(fā)明并非局限于此，

任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員能思之的變化都應(yīng)落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性顯示材料在特定彎曲條件下的性能測(cè)試夾具，包括：可滾動(dòng)壓棍；目標(biāo)曲率半徑模型，所述目標(biāo)曲率半徑模型有多件，分別為不同種曲率的樣式，可供更換，以滿(mǎn)足不同曲率半徑測(cè)試要求；軸承；軸承架，所述軸承架有多件，兩軸間距不同，可供更換，分別對(duì)應(yīng)于不同曲率半徑的目標(biāo)曲率半徑模型；Z軸位移裝置；轉(zhuǎn)接架以及底板。所述Z軸位移裝置用于將所述可轉(zhuǎn)動(dòng)壓棍按指定行程，將待測(cè)樣品壓向目標(biāo)曲率半徑模型，從而實(shí)現(xiàn)在測(cè)試過(guò)程中保持待測(cè)樣品特定所需的曲率半徑以及包角。

技術(shù)研發(fā)人員：王威;李見(jiàn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海研微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.26
技術(shù)公布日：2017.09.29