一種探測(cè)特殊氣體遙控車的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種探測(cè)特殊氣體遙控車，解決在了在發(fā)生事故的現(xiàn)場(chǎng),第一時(shí)間通過預(yù)設(shè)探測(cè)器,自動(dòng)識(shí)別泄漏氣體的種類,并第一時(shí)間做出判斷,找出泄漏點(diǎn)。并且本實(shí)用新型可遙控移動(dòng)，能對(duì)無安裝固定探測(cè)器的區(qū)域及對(duì)人員有危險(xiǎn)的區(qū)域進(jìn)行探測(cè)，本實(shí)用新型內(nèi)的探測(cè)器的探測(cè)模塊可根據(jù)需求靈活組合使用，大大降低成本。
【專利說明】一種探測(cè)特殊氣體遙控車
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于自動(dòng)控制裝置，涉及電氣自動(dòng)化技術(shù)和計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)，尤其是一種探測(cè)特殊氣體遙控車。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體的制造工藝也越來越復(fù)雜。使用到的特殊復(fù)雜氣體的種類也越來越復(fù)雜，然而在半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)境中，人生安全和環(huán)境安全非常重要，為了防止意外事故的發(fā)生，第一時(shí)間做出判定和處理的對(duì)策非常重要.[0003]傳統(tǒng)的做法是分區(qū)域在不同的地方設(shè)置相當(dāng)數(shù)量的探測(cè)器，然而每種探測(cè)器只能探測(cè)一種氣體，不能靈活改變，對(duì)不明氣體無法檢測(cè)，且傳統(tǒng)方式硬件投入成本相當(dāng)高。而現(xiàn)在這種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置在裝置內(nèi)部集成了晶圓工廠中使用的各種特殊氣體的探測(cè)模塊，如果現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生氣體泄漏，可以遠(yuǎn)程遙控該裝置到現(xiàn)場(chǎng)，通過內(nèi)部的各種氣體的探測(cè)模塊，迅速的探測(cè)出發(fā)生泄漏氣體的種類。
[0004]并且，該裝置還能夠?qū)Σ幻鳉怏w進(jìn)行采集，通過內(nèi)部氣體分析單元，對(duì)不明氣體的分子量進(jìn)行采樣比較，通過內(nèi)部嵌入的軟件系統(tǒng)，計(jì)算出該未知?dú)怏w的分子量，然后匹配出相近或相同的特殊氣體名稱，針對(duì)這種氣體采取相應(yīng)的處理方案。而傳統(tǒng)的單一氣體采集模塊，只能針對(duì)單一的氣體進(jìn)行采集，對(duì)不明氣體不能做出響應(yīng)和判斷。
[0005]將現(xiàn)有工業(yè)控制的技術(shù)搭載在該裝置上，通過特有的軟件整合，和外加專用的模塊實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程遙控功能，并可視化現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)。對(duì)于特殊場(chǎng)合和不明氣體的場(chǎng)所，在不知?dú)怏w種類的情況下，人員不能冒昧進(jìn)入泄漏現(xiàn)場(chǎng)，會(huì)對(duì)人生安全造成危險(xiǎn)，通過可視化界面，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的情況，調(diào)整裝置的移動(dòng)方向和位置，并通過現(xiàn)有無線技術(shù)的應(yīng)用，將現(xiàn)場(chǎng)的情況和檢測(cè)氣體的相關(guān)信息傳輸在遠(yuǎn)程的手持操作終端。現(xiàn)有的技術(shù)都是將檢測(cè)器安裝在固定的區(qū)域，在不知的情況下，需要人員預(yù)先到現(xiàn)場(chǎng)去處理，存在一定的危險(xiǎn)性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型提出了一種探測(cè)特殊氣體遙控車，解決在了在發(fā)生事故的現(xiàn)場(chǎng)，第一時(shí)間通過預(yù)設(shè)探測(cè)器，自動(dòng)識(shí)別泄漏氣體的種類，并第一時(shí)間做出判斷，找出泄漏點(diǎn).并且本實(shí)用新型可遙控移動(dòng)，能對(duì)無安裝固定探測(cè)器的區(qū)域及對(duì)人員有危險(xiǎn)的區(qū)域進(jìn)行探測(cè)，本實(shí)用新型內(nèi)的探測(cè)器的探測(cè)模塊可根據(jù)需求靈活組合使用，大大降低成本。
[0007]一種探測(cè)特殊氣體的遙控車，包括一車體，其中，所述車體的車頭上設(shè)有一吸氣口，吸氣口和一探測(cè)器相連接，探測(cè)器固定在車體內(nèi)部底面上，探測(cè)器還與一出氣口相連，連通至車體底部，一控制系統(tǒng)和探測(cè)器相連，所述控制系統(tǒng)固定在所述出風(fēng)管道的上方的車體上，所述車體上表面設(shè)有一可視化控制面板，通過一無線遙控終端可以接收控制系統(tǒng)的信息并控制所述遙控車，
[0008]其中，所述探測(cè)器包括若干個(gè)不同的探測(cè)模塊，所述探測(cè)模塊并聯(lián)排列且每個(gè)探測(cè)模塊僅用于探測(cè)一種氣體，[0009]所述車體內(nèi)部還設(shè)有一供電系統(tǒng)，供電給整個(gè)所述遙控車。
[0010]上述一種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置，其中，所述吸氣口內(nèi)設(shè)置一風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)吸取氣體進(jìn)入所述吸氣口經(jīng)過所述探測(cè)器。
[0011 ] 上述一種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置，其中，所述可視化面板背面設(shè)有支撐裝置。
[0012]上述一種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置，其中，所述控制系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)置有一處理器，預(yù)警信號(hào)采集器及無線發(fā)射模塊。
[0013]上述一種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置，其中，所述供電系統(tǒng)通過連接線和外界220v電源電壓相連。
[0014]上述一種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置，其中，所述供電系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)有整流器，斬波器，逆變器，蓄電池。
[0015]上述一種特殊氣體探測(cè)遙控移動(dòng)裝置，其中，所述車體采用不銹鋼材料，同時(shí)所述車體表面經(jīng)過防靜電噴塑處理。
[0016]本實(shí)用新型具有如下技術(shù)優(yōu)勢(shì):
[0017]1.本實(shí)用新型具有遙控功能，可遠(yuǎn)距離控制，為危險(xiǎn)場(chǎng)合的探測(cè)提供了保障，保障人生安全。
[0018]2.本實(shí)用新型的探測(cè)模塊可根據(jù)需求靈活增減組合，大大降低成本。
[0019]3.本實(shí)用新型同時(shí)具有防震功能，對(duì)價(jià)格昂貴的部件運(yùn)輸起到保護(hù)作用。
[0020]4.本裝置外形采用不銹鋼材料制成，同時(shí)表面經(jīng)過防靜電噴塑處理，使小車美觀，也保證了車的結(jié)構(gòu)堅(jiān)固牢靠，運(yùn)輸中不受到擠壓變形。
[0021]5.本裝置不僅適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中，對(duì)于其它行業(yè)中需要多路移動(dòng)式的特殊氣體檢測(cè)也可廣泛使用.【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]構(gòu)成本實(shí)用新型的一部分的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0023]圖1為本實(shí)用新型一種探測(cè)特殊氣體遙控車側(cè)面剖視圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型中供電系統(tǒng)的功能流程圖；
[0025]圖3為本實(shí)用新型控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；
[0026]圖4為本實(shí)用新型控制系統(tǒng)控制邏輯圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]結(jié)合以下具體實(shí)施例和附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。實(shí)施本實(shí)用新型的過程、條件、實(shí)驗(yàn)方法等，除以下專門提及的內(nèi)容之外，均為本領(lǐng)域的普遍知識(shí)和公知常識(shí)，本實(shí)用新型沒有特別限制內(nèi)容。
[0028]實(shí)施例一:
[0029]圖1為本實(shí)用新型一種探測(cè)特殊氣體遙控車側(cè)面剖視圖；如圖1所示，
[0030]本實(shí)用新型是一種探測(cè)特殊氣體遙控車擁有長(zhǎng)方體的車體，車體采用不銹鋼材料制成，同時(shí)車體表面經(jīng)過防靜電噴塑的處理，車體的前側(cè)的長(zhǎng)方形表面正中設(shè)有一圓筒形的吸風(fēng)口，吸風(fēng)口內(nèi)部靠近車體一側(cè)設(shè)有一風(fēng)機(jī)，當(dāng)風(fēng)機(jī)啟動(dòng)時(shí)，風(fēng)機(jī)的葉扇開始旋轉(zhuǎn)，吸入車體前方的氣體，吸風(fēng)口另一側(cè)連接著設(shè)置在車體內(nèi)部下表面上的探測(cè)器，探測(cè)器內(nèi)部設(shè)有若干個(gè)探測(cè)模塊，每個(gè)探測(cè)模塊都可探測(cè)出相對(duì)應(yīng)的特殊氣體，探測(cè)器中靠近車體后方的一表面連接有出氣管道，吸入的氣體沿著出氣管道從水平方向轉(zhuǎn)彎至朝下，從車體地面排出，在出氣管道上方設(shè)置有一控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)固定在車體內(nèi)部的上表面并緊靠著探測(cè)器，在車體上表面還設(shè)置了可視化界面，通過支撐結(jié)構(gòu)可將可視化界面撐起，有方面工作人員的觀察.[0031]如圖2所示，在車體內(nèi)部還設(shè)有供電系統(tǒng)(圖中未顯示)，供電系統(tǒng)內(nèi)部主要包括整流器，斬波器，逆變器，可通過連接線(圖中未顯示)和220V城市電壓相連，220V交流電通過整流器的整流，整流后的直流電壓依次通過斬波器，逆變器的斬波，逆變轉(zhuǎn)換成小車可使用的電源電壓，220V城市電壓還并聯(lián)了 一條旁路進(jìn)行過載保護(hù)，另外，當(dāng)無法通過城市電壓進(jìn)行供電時(shí)，供電系統(tǒng)還包含蓄電池，蓄電池輸出的電壓直接通過斬波器，逆變器的斬波，逆變轉(zhuǎn)換成小車可使用的電源電壓，蓄電池供電和城市電壓供電可以相互自由切換。
[0032]如圖3，4所示，控制系統(tǒng)中包括預(yù)警信號(hào)采集器，處理器及無線發(fā)射模塊，當(dāng)氣體從吸氣口進(jìn)入通過探測(cè)器，探測(cè)器中的若干個(gè)探測(cè)模塊并聯(lián)連接，當(dāng)探測(cè)模塊探測(cè)出相對(duì)應(yīng)的氣體時(shí)，探測(cè)模塊把信號(hào)通過總線傳輸?shù)娇刂葡到y(tǒng)中的預(yù)警信號(hào)采集器，預(yù)警信號(hào)采集器將預(yù)警信號(hào)傳輸給可視化面板，在可視化面板上顯示，對(duì)于某些探測(cè)器探測(cè)不出的不明氣體，通過控制系統(tǒng)對(duì)于不明氣體的分子量進(jìn)行實(shí)時(shí)采樣比較，并依靠處理器中的嵌入式軟件系統(tǒng)計(jì)算出該不明氣體的分子量，然后匹配出相近或相同特殊氣體的名稱，現(xiàn)場(chǎng)的情況和檢測(cè)氣體的相關(guān)信息可通過可視化界面得以顯示，可視化界面設(shè)置在車體上表面，通過支撐結(jié)構(gòu)可將可視化界面撐起，有方面工作人員的觀察.[0033]另外，由于本實(shí)用新型用于的特殊場(chǎng)合，人員無法冒昧的進(jìn)入，所以必須擁有一無線遙控終端，無線遙控終端上設(shè)有可視化界面(圖中未顯示)，通過控制系統(tǒng)的中的無線發(fā)射模塊，可將現(xiàn)場(chǎng)的情況和檢測(cè)氣體的相關(guān)信息以及預(yù)警信號(hào)發(fā)射給無線遙控終端并顯示在無線遙控終端的可視化界面上，工作人員可以根據(jù)可視化界面的反饋遠(yuǎn)距離的控制小車的運(yùn)動(dòng)和車頭正對(duì)的目標(biāo)。
[0034]以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所做出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種探測(cè)特殊氣體遙控車，包括一車體，其特征在于，所述車體的車頭上設(shè)有一吸氣口，吸氣口和一探測(cè)器相連接，探測(cè)器固定在車體內(nèi)部底面上，探測(cè)器還與一出氣口相連，連通至車體底部，一控制系統(tǒng)和探測(cè)器相連，探測(cè)器中靠近車體后方的一表面連接有出風(fēng)管道，所述控制系統(tǒng)固定在所述出風(fēng)管道的上方的車體上，所述車體上表面設(shè)有一可視化控制面板，通過一無線遙控終端可以接收控制系統(tǒng)的信息并控制所述遙控車， 其中，所述探測(cè)器包括若干個(gè)不同的探測(cè)模塊，所述探測(cè)模塊并聯(lián)排列且每個(gè)探測(cè)模塊僅用于探測(cè)一種氣體， 所述車體內(nèi)部還設(shè)有一供電系統(tǒng)，供電給整個(gè)所述遙控車。
2.如權(quán)利要求1所述的一種探測(cè)特殊氣體遙控車，其特征在于，所述吸氣口內(nèi)設(shè)置一風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)吸取氣體進(jìn)入所述吸氣口經(jīng)過所述探測(cè)器。
3.如權(quán)利要求1所述的一種探測(cè)特殊氣體遙控車，其特征在于，所述可視化面板背面設(shè)有支撐裝置。
4.如權(quán)利要求1所述的一種探測(cè)特殊氣體遙控車，其特征在于，所述控制系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)置有一處理器，預(yù)警信號(hào)采集器及無線發(fā)射模塊。
5.如權(quán)利要求1所述的一種探測(cè)特殊氣體遙控車，其特征在于，所述供電系統(tǒng)通過連接線和外界220v電源電壓相連。
6.如權(quán)利要求5所述的一種探測(cè)特殊氣體遙控車，其特征在于，所述供電系統(tǒng)內(nèi)部設(shè)有整流器，斬波器，逆變器，蓄電池。
7.如權(quán)利要求1所述的一種探測(cè)特殊氣體遙控車，其特征在于，所述車體采用不銹鋼材料，同時(shí)所述車體表面經(jīng)過防靜電噴塑處理。
【文檔編號(hào)】G01N33/00GK203811590SQ201320778034
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】倪立華 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司