專利名稱：作為單獨的彈性構件待安裝于調(diào)準夾具的彈性單元接收區(qū)段處的彈性單元的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種用于調(diào)準電子部件的調(diào)準夾具。并且，本發(fā)明涉及一種載體。除此以外，本發(fā)明還涉及一種使用該載體的方法。
背景技術：
集成電路通常制造在半導體晶片上。集成電路具有多種用途并且可見于通用電氣 裝置中。根據(jù)制造它們的目的，在將集成電路與諸如電阻器、電容和感應器之類的其它電子 部件裝配在一起之前，對它們進行封裝、標記和測試。例如，在給定的溫度、壓力、傾角和不 同的加速類型下對MEMS (微電子機械系統(tǒng))部件進行測試。由此，電子部件的整個加工可 劃分為純制造過程和修整電子部件的接觸區(qū)域(contactpatterns)后的過程。存在三類處 理電子部件的機器處理單一電子部件的所謂“重力式測試分選機(Gravity handler)”和 “撿置式測試分選機(Pick&Place handler) ”以及處理所謂支板(strip)的“支板測試分選 機”。US 2003/0017629A1公開了一種用于在測試操作期間支承單一電子裝置的設備， 其包括主體和支承構件，其中，所述支承構件由不導電的高電阻率的材料制成并包括多個 凹部，每個所述凹部均適于接收單獨的單一裝置。本文還公開了一種用于測試這種裝置的 方法，其中這些裝置在整個測試過程中被承載在包括一個或多個環(huán)境控制腔在內(nèi)的支承構 件上。US 2006/0154386A1公開了一種被提供用于調(diào)準放置在載體上的多個半導體裝置 的設備和方法。使用時將調(diào)準導件鄰近各個裝置安置，并設置成使得這些調(diào)準導件對應于 每個半導體裝置的預期調(diào)準位置。為了調(diào)準，通過定位裝置來保持半導體裝置，該定位裝 置包括多個保持件，每個保持件均被構造成產(chǎn)生力來保持半導體裝置。還設置有致動器，其 可操成移動該定位裝置和保持件，使得半導體裝置壓靠在調(diào)準導件上，從而利用所述調(diào)準 導件為半導體裝置進行定向，直到將它們調(diào)準。US 7，156，680B2公開了一種插件和設有該插件的電子部件處理設備。為了 提供能夠可拆卸地附連至插件本體的導芯和能夠可拆卸地附連有導芯的插件本體，US 7，156, 680B2提供了一種能夠以可拆卸的方式附連至插件本體的導芯，其包括支承部分， 該支承部分能夠支承區(qū)域陣列型電子部件的外部端子面，以使該區(qū)域陣列型電子部件的外 部端子面裸露于插口的連接端子的方向；鉤接收件，該鉤接收件能夠與設置于插件本體的 鉤部以可松開的方式接合；和插件本體，該插件本體能夠與導芯以可拆卸的方式附連，該插 件本體包括電子部件引導部分，該電子部件引導部分包括附連導芯的導芯附連插口 ；以 及電子部件入口，該電子部件入口與導芯附連插口相連，從而可將電子部件引導至附連于 導芯附連插口的導芯；和鉤部，該鉤部能夠與設置于導芯的鉤接收件以可松開的方式接合。US 5，596，229A公開了一種芯片載體結(jié)構，其用于容納具有電子接觸墊的芯片載體，該芯片載體結(jié)構具有用于芯片載體的定位結(jié)構和配合成形成容納所述芯片載體的相配 結(jié)構的有槽結(jié)構，該有槽結(jié)構的槽與芯片載體的間隔件對準，以便提供從相配的定位結(jié)構 和有槽結(jié)構的外部到內(nèi)部的通往間隔件的電氣和機械接入。

發(fā)明內(nèi)容
需要一種能夠以有效的方式調(diào)準電子部件的系統(tǒng)。為了實現(xiàn)上述目的，提供了一種用于調(diào)準電子部件的調(diào)準夾具、一種包括多個調(diào) 準夾具的載體、以及一種使用載體的方法。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，提供了一種用于調(diào)準電子部件的調(diào)準夾具，其中， 該調(diào)準夾具包括彈性單元板(例如安裝有彈性單元的諸如帶圖案的板之類的板)，該彈性 單元板具有彈性單元接收區(qū)段(例如待安裝彈性單元的諸如安裝底座之類的構造)；接收 器(其可指代用以接收和容納某物的裝置)，該接收器適于(具體來說是用于)接收電子 部件并具有第一鄰接(具體來說是接觸)區(qū)段(具體來說是節(jié)段)和第二鄰接區(qū)段；彈 性(具體來說是可伸縮的、回彈性的或有彈力的)單元(具體來說是用來執(zhí)行一種特定功 能的設備的零部件或零件)，第一鄰接區(qū)段經(jīng)由(例如安裝于調(diào)準夾具的支承部處或安裝 于彈性單元板處)的彈性單元可伸縮地安裝，其中，彈性單元適于對第二鄰接區(qū)段施加用 以調(diào)準電子部件的力，并且其中，彈性單元是單獨的(具體來說是不連續(xù)的、孤立的或單體 的)彈性構件(具體來說是零部件，其可以不是與彈性單元板一體形成的實體結(jié)構)，其適 于被安裝于彈性單元接收區(qū)段處。根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施方式，提供一種用于調(diào)準多個電子部件的載體，其 中該載體包括多個具有上述特征的調(diào)準夾具。根據(jù)本發(fā)明的再一示例性實施方式，提供了一種使用具有上述特征的載體的方 法，其中，該方法包括-致動夾持機構以在所述接收器中露出大于待接收的所述電子部件(具體來說是 模制件)的開口；_將所述電子部件定位(具體來說是放置)在所述接收器中的所述開口中(具體 來說是在露出開口之后)；-致動所述夾持機構以縮小所述開口的尺寸，使得在所述載體的所述接收器內(nèi)調(diào) 準所述電子部件(具體來說是在定位之后)。術語“調(diào)準夾具”可具體指代用于在加工或處理過程中支承實體結(jié)構的裝置。“實 體結(jié)構”在本文中可具體指代在加工或處理的過程中在任一階段對其進行操作的材料、材 料塊或電子部件。術語“調(diào)準”可具體表示將某物進行排列或校直。例如，可將電子部件與固定的鄰 接區(qū)段調(diào)準。術語“電子部件”可具體表示適于被安裝在諸如印刷電路板之類的電子支承基片 上的任意部件。這種電子部件還可通過通常稱之為“處理機”的處理機器進行處理。電子 部件的示例是電子芯片，即封裝的印模(die)或裸露的未封裝印模。術語“接收器”可具體指代用以接收和容納某物的裝置，或者更為具體地指代用于 電子部件的容器。
術語“鄰接區(qū)段”可具體表示接觸節(jié)段，即接收器的直接鄰接電子部件的部分。術語“單獨的彈性構件”可具體表示彈性的、彈力的或有回彈性的不連續(xù)的、孤立 的或者單體的零部件。這種單獨的彈性構件可被設置成實體結(jié)構，該實體結(jié)構由彈性單元 板單獨形成但可暫時或永久性地安裝于彈性單元板。術語“載體”可具體表示一種每次承載多個電子部件的裝置。載體可以是條狀構 件，其適于將多個電子部件承載在載體的接收器中。這種載體可結(jié)合處理機使用，從而允許 利用載體來處理電子裝置，用于隨后實施對電子部件的測試(例如功能測試)。術語“夾持”可具體表示將載體設計成使部件合攏用于保持或壓緊電子部件?？?以被合攏到一起的部件可以是第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段。該夾持可以是彈性的。術語 “彈性的”可具體表示可施加具體為可伸縮的、回彈性的力或彈簧力，諸如胡克力。彈性單元可設置成適于安裝于彈性單元接收區(qū)段處的單獨的彈性構件。彈性單元 接收區(qū)段可由板形成或形成于彈性單元板處，并適于例如以外形鎖定的方式接收單獨的彈 性構件。為了提高調(diào)準夾具的適用性，彈性單元可以是單獨的彈性構件。一個彈性單元板 或任意其它適合的板可適于接收不同類型的彈性構件。因此需要較少的板來使調(diào)準夾具適 合于電子部件的不同尺寸。能夠僅改變接收器的相應尺寸、彈性單元接收區(qū)段的位置，或者 改變待插入的單獨的彈性構件的尺寸，用于使調(diào)準夾具適合于不同電子部件的類型。單獨 的彈性構件可以可拆卸的方式安裝，以使改變調(diào)準夾具更為方便。在將要損壞調(diào)準夾具的 彈性單元或載體的情況下，能夠簡單地替換彈性單元并進一步使用彈性單元板、調(diào)準夾具 或載體。這可節(jié)省費用且可以合理的維修工作來完成?？商峁┯糜谡{(diào)準多個部件的載體，其中，該載體包括多個調(diào)準夾具。這多個調(diào)準夾 具可被設置成矩陣的形式并且可固定安裝在一起以形成載體。該載體可具有與單個調(diào)準夾 具相似的特性，但是可應用在多個電子部件上?？赏ㄟ^載體的調(diào)準夾具在接收器中以定界 的方式調(diào)準電子部件。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，可提供一種使用該載體的方法，其中，可將電子 部件放置在載體的擴大的接收器中，并且隨后可通過夾持機構將電子部件彈性地夾持在尺 寸縮小的接收器中并在其中調(diào)準該電子部件。接收器的擴大尺寸到夾持尺寸的轉(zhuǎn)變可以自 作用的方式發(fā)生。在下文中，將描述調(diào)準夾具的其它示例性實施方式。但是，這些實施方式同樣適用 于所述載體和所述方法。單獨的彈性構件可與第一鄰接區(qū)段一體形成。因此，彈性單元和第一鄰接區(qū)段可 設置成單件，其可例如通過夾緊、夾持、膠粘、焊接、熱施加等連接于彈性單元板。因此，彈性 單元和第一鄰接區(qū)段可由例如共同的基板或板制成并因此以低成本制成。調(diào)準夾具可包括形成于第一鄰接區(qū)段處的可致動結(jié)構，其中，該可致動結(jié)構可由 (處理裝置等的)對應的致動結(jié)構致動，用于操縱接收器?？芍聞咏Y(jié)構可以是例如凹部、突 起等，其可由通過致動結(jié)構控制的任意適當?shù)氖┝C構(例如施加機械力、電力、磁力等) 致動。致動結(jié)構可以被對應地構造(例如成形和/或確定尺寸)成可致動結(jié)構，并且可以例 如是突起或任意其它施力元件，它們可利用任意適合的施力機構(例如施加機械力、電力、 磁力等)來致動該可致動結(jié)構，用于以預期的方式來控制該接收器(例如用于暫時擴大或 縮小接收器的開口)。
可致動結(jié)構(具體來說是可致動孔、可致動銷或可致動臂)可適于被致動，進而致 動彈性單元?？芍聞咏Y(jié)構可被設置在接收器的旁邊(具體來說是設置在接收器的邊界區(qū)域 的旁邊)?？芍聞咏Y(jié)構和第一鄰接區(qū)段可形成剛性構件?？梢詮膶⒁邮针娮硬考囊粋?cè) (由通過處理機的控制器控制的致動元件)觸及該可致動結(jié)構?？芍聞涌卓晌挥诘谝秽徑訁^(qū)段的L形區(qū)域中。銷可垂直于彈性單元的致動力方向 插入到可致動孔中。可致動孔和第一鄰接區(qū)段可一體形成。彈性單元的懸架可具有軸對稱 的形狀。彈性單元的懸架可包括陽模，并且彈性單元接收區(qū)段可包括對應的陰模?？墒謩?或自動地插入彈性單元的懸架。懸架和彈性單元接收區(qū)段可以外形鎖定的方式協(xié)作。懸架 和彈性單元接收區(qū)段可以力鎖合的方式協(xié)作。懸架和彈性單元接收區(qū)段可以摩擦鎖定的方 式協(xié)作。懸架可以可逆的方式位于彈性單元接收區(qū)段中。懸架可通過彈性變形以不可逆的 方式位于彈性單元接收區(qū)段中。彈性單元接收區(qū)段可適于將彈性單元固定于彈性單元的懸架(具體來說是緊固 件或固定件)處，使得第二彈性單元被固定住以免于旋轉(zhuǎn)。否則會存在彈性構件無法沿限 定的方向施力的危險。如果以無旋轉(zhuǎn)的方式裝配彈性單元，則力的方向和大小不變。由于 半導體制造中的微型化趨勢導致半導體裝置的尺寸較小，因此，非常精確地調(diào)準半導體裝 置是很重要的。這樣，由于可限定力的方向和大小，因此，防止接收在其懸架中的彈性構件 旋轉(zhuǎn)是有利的。彈性單元可以外形鎖定的方式固定安裝于彈性單元接收區(qū)段處或固定安裝在其 中。彈性單元接收區(qū)段可適于將彈性單元固定在彈性單元的懸架中，其中，利用正向鎖定固 定安裝該彈性單元。通過以外形鎖定的方式固定安裝該彈性單元可防止單獨的彈性構件滑 動?？煞乐乖搹椥詥卧摮稣{(diào)準夾具。通過以外形鎖定的方式安裝該彈性單元，可限定由 彈性單元施加的力的方向和大小，并可使其保持穩(wěn)定。第一鄰接區(qū)段可適于在電子部件上施加第一力，并且第二鄰接區(qū)段可適于在電子 部件上施加第二力，其中，第一力和第二力可至少部分彼此相對(具體來說是彼此相對地、 即以逆平行的方式施加)。這可導致將電子部件夾持在鄰接區(qū)段之間。可在調(diào)準夾具的接 收器中調(diào)準電子部件。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段鄰接在電子部件的側(cè)面部分上。根據(jù) 所施加的力，在施加在電子部件上的力至少不是指向一個方向的情況下，可安置并調(diào)準電 子部件。當由第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段施加在電子部件上的兩個力至少部分相對時， 通過包括摩擦力在內(nèi)，電子部件可靜止?？烧{(diào)整第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段，以將第一力施加在接收器的主平面中(即 力矢量可位于主平面內(nèi))或電子部件的主平面中，并且以平行于該接收器的主平面或平行 于電子部件的主平面的方式施加第二力。接收器的主平面可通過平行于調(diào)準夾具的主平面 來限定。在將由第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段施加的力施加在一個平面中的情況下，可以 適當?shù)姆绞秸{(diào)準電子部件。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段可鄰接在電子部件的側(cè)面部分 上。通過將第一力和第二力都施加在接收器的主平面中，電子部件上的合力不會表現(xiàn)為傾 向于使電子部件翻出接收器外的轉(zhuǎn)矩。通過平行于接收器的主平面的力，可在接收器中穩(wěn) 固地調(diào)準電子部件。接收器可進一步包括底座支承區(qū)段，其形成為平行于接收器的主平面的支承表 面(具體來說是用以通過充當基座而將某物支承在適當?shù)奈恢弥?。平坦的底座支承區(qū)段也可界定電子部件接收容積(并限定電子部件接受容積的底部)。由底座支承區(qū)段施加的 支承力可作用在電子部件的主平面上，具體來說可以是逆平行于重力的。電子部件可設置 在接收器中，以使接收器的主平面與電子部件的主平面是平行的。作用在電子部件上的底 座支承區(qū)段可平行于接收器的主平面，以通過底座支承區(qū)段在接收器的主平面中的支承來 調(diào)準電子部件。將電子部件支承在接收器的主平面中的優(yōu)點可以是，電子部件上的載荷可 以被分散在電子部件的主平面的不同部分上，并且第一鄰接區(qū)段的第一力和第二鄰接區(qū)段 的第二力可以平行于底座支承區(qū)段施加。由此，第一力的定向與第二力的定向可防止底座 支承區(qū)段上的電子部件破裂。底座支承區(qū)段可適于施加垂直于第一力和第二力的(具體來說是豎向的)支承 力。由底座支承區(qū)段施加的支承力可適于以與其主平面成直角的方式調(diào)準電子部件。支承 力垂直于由第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段所施加的力的技術優(yōu)點可以是沒有或基本上沒 有轉(zhuǎn)矩施加在電子部件上。由此，電子部件可相對于其主平面保持在調(diào)準位置中?？梢钥缮炜s的方式安裝第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中的一個或二者。固定安裝 的第一鄰接區(qū)段和/或第二鄰接區(qū)段可適于進行平行于接收器的主平面的移動。由以可伸 縮的方式安裝的鄰接區(qū)段所施加的力以平行于接收器的主平面的方式施加。用以調(diào)準電子 部件的力可由彈性單元提供，并且彈性單元可通過其自身在接收器的主平面中的自作用移 動而在接收器的主平面中移動該可伸縮地安裝的鄰接區(qū)段和電子部件。由此，可將彈性單 元的力在一平面中施加在電子部件上，在該平面中，電子部件是顯著結(jié)實或穩(wěn)定的。調(diào)準夾具可包括底座支承板，彈性單元設置在該底座支承板的上方(具體來說是 平行于該底座支承板延伸)，其中，彈性單元可適于進行平行于至少部分由底座支承板支承 的接收器的主平面的移動。在一種實施方式中，底座支承板和彈性單元可平行于接收器的 主平面并平行于整個調(diào)準夾具的主平面設置。彈性單元可設置在該底座支承板上，并且彈 性單元可沿該底座支承板移動。至少在一個方向上(其可以是朝底座支承板定向的方向)， 可將彈性單元緊固住以免產(chǎn)生不希望的變形。底座支承板可以是平坦的或者可以具有一個 或多個適于引導彈性單元的移動的凹部。特別地，以可伸縮的方式安裝的第一鄰接區(qū)段適于進行平行于接收器的主平面的 移動。調(diào)準夾具可包括底座支承板和接收板，當被接收在彈性單元板中時，彈性單元設 置在該底座支承板和該接收板之間。彈性單元可適于進行平行于接收器的主平面(或平行 于接收在接收器中的電子部件的主平面)并至少部分由底座支承板和接收板引導(具體來 說是為某物的移動導向)的移動。該接收板可特別地具有凹部(或接收開口)，電子部件可 通過插入穿過該凹部而經(jīng)由該凹部接收在接收器中。在一種實施方式中，底座支承板、接收 板和彈性單元可平行于接收器的主平面并平行于整個調(diào)準夾具的主平面設置。彈性單元可 在底座支承板與接收板之間移動，該彈性單元可設置在該底座支承板與該接收板之間。彈 性單元可以被緊固住以免于在兩個方向上的變形。彈性單元可被緊固住的兩個方向可以是 朝底座支承板定向的方向和朝接收板定向的方向。底座支承板和接收板可以是平坦的或可 以具有適于引導彈性單元的移動的凹部。調(diào)準夾具可進一步包括適于調(diào)整調(diào)準夾具的厚度的至少一個距離調(diào)整板，例如使 調(diào)準夾具適于與可能使用的處理裝置協(xié)作。出于距離調(diào)整的目的，調(diào)準夾具可包括甚至超過三個板。彈性單元可包括彈簧元件(具體來說是橡膠構件、任意種類的彈性材料構件、由 金屬彈簧板(諸如鋼簧板)形成的彈簧、由彈簧鋼絲形成的彈簧或諸如板簧、盤簧、片簧之 類的任意種類的彈簧)。諸如曲簧之類的平面彈簧可以是優(yōu)選的以使緊湊性最優(yōu)化。彈簧 元件可由板一體形成。彈簧元件可表現(xiàn)出相較于彈性單元類似的特性，其中，該彈性單元可 由若干部分形成。彈簧元件可表現(xiàn)出克服變形的彈性回復力，即胡克性質(zhì)。彈簧元件可在以下部件之間居中定位a) 一方面為處于一體形成的單獨的彈性構件的一個端部區(qū)段中的第一鄰接部分 (可選擇地具有可致動結(jié)構)；以及b)另一方面為一體形成的單獨的彈性構件的緊固元件，其用于將一體形成的單獨 的彈性構件緊固于彈性單元板的彈性單元接收區(qū)段處。彈性單元可包括第一彈簧元件和第二彈簧元件，其中，第一鄰接區(qū)段和第二鄰接 區(qū)段中的以可伸縮的方式安裝的一個鄰接區(qū)段與第一彈簧元件和第二彈簧元件相連。在一 種實施方式中，第一彈簧元件和第二彈簧元件相對于彼此成角度地設置。在一種實施方式 中，第一彈簧元件和第二彈簧元件彼此平行設置。在另一種實施方式中，第一彈簧元件和第 二彈簧元件可相對于彼此以軸對稱的方式或以鏡像對稱的方式設置。根據(jù)彈簧元件的形 式、材料和尺寸，將兩個彈簧元件結(jié)合于彈性單元會是有利的。多于兩個的彈簧元件可形成 彈性單元。通過將兩個或更多個彈簧元件結(jié)合于彈性單元，可以調(diào)整由彈性單元施加的力 的方向和絕對值。第一鄰接區(qū)段、第二鄰接區(qū)段和底部支承區(qū)段可界定可將電子部件接收于其中的 電子部件接收容積。彈性單元的至少一部分可在電子部件接收容積的底側(cè)的下方延伸。通 過將彈性單元設置在電子部件接收容積的下方，可將調(diào)準夾具所需的空間保持得較小。對 于比一般的電子部件大的電子部件而言，節(jié)省調(diào)準夾具的主平面中的空間是有益的。由于 針對大尺寸的電子部件的彈性單元的偏移會較大，因此得出結(jié)論，與將彈性單元僅設置在 電子部件接收容積的旁邊的布置相比，通過將彈性單元設置在電子部件接收容積的下方可 節(jié)省非常大的(例如達到八倍的)空間。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中以可伸縮的方式安裝的一個鄰接區(qū)段可從其所 安裝的彈性單元沿向上的方向延伸，并且該鄰接區(qū)段可在電子部件接收容積的旁邊延伸。 以可伸縮的方式安裝的鄰接區(qū)段可在電子部件接收容積的旁邊并在電子部件接收容積的 同一高度中延伸，以適于鄰接在待接收的電子部件上。以可伸縮的方式安裝的鄰接區(qū)段可 從在電子部件接收區(qū)段的下方延伸的彈性單元向上并在電子部件接收區(qū)段的旁邊(即，外 側(cè))延伸至電子部件接收區(qū)段，并且以可伸縮的方式安裝的鄰接區(qū)段可適于鄰接在接收在 接收器中的電子部件上。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段可適于將電子部件夾持在它們之間 的空間中。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段均可形成剛性的(具體來說是非彈性的、不可彎曲 的、剛硬的、不易彎曲的或不易伸縮的)構件(具體來說是零件)并可適于接合電子部件 (具體來說是與電子部件相接觸)。彈性單元可適于在第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中的 一個鄰接區(qū)段上施加(具體來說是應用)兩個分力，這些分力相對于彼此是成角度的(具 體來說是圍成不同于零度的在公差范圍之外的角度)。術語“彈性單元適于施加兩個成角度的分力”可具體表示可將力分解成作用在表面上的兩個成直角的分力。由彈性單元施加 的傾斜力可作用在第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中的至少一個上，以便將兩個彼此成角度 的分力施加在這些鄰接區(qū)段中的至少一個上。兩個成角度的分力可由通過彈性單元施加 的傾斜力所導致。本文中的“傾斜”力可表示力并不平行于表面，即不平行于第一鄰接區(qū)段 和第二鄰接區(qū)段，而是與該表面成一角度，該角度至少以0.5°、1°、2。A0、8°或16° 這樣的角度偏離平行方向。該角度可大于10°，具體來說是大于30°，更具體地說是大于 45°。傾斜力可表示為成角度的。在一種實施方式中，該力可以相對于成直角的鄰接區(qū)域 的內(nèi)角成45°的角度被引導到至少一個成直角的鄰接區(qū)段上。該傾斜力可由沿對角施加的 力來表示。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，可提供一種調(diào)準夾具，該調(diào)準夾具將電子部件以 自作用的方式在接收器中調(diào)準。諸如對角作用力(其與例如矩形電子裝置有關)之類的傾 斜力可將兩個成角度的分力施加在第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中的至少一個上?？梢允?傾斜的或成角度的該力可從該鄰接區(qū)段(被以可伸縮的方式安裝在彈性單元上)經(jīng)由電子 部件傳遞至被固定安裝的鄰接區(qū)段。在一種實施方式中，該傾斜力可在不平行的方向上作 用于電子部件的每個側(cè)面部分。通過提供由彈性單元施加的兩個成角度的分力，電子部件 可通過第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段被完全調(diào)準而無需電子部件在接收器內(nèi)的其它側(cè)向 鄰接。因為僅一個彈性單元和兩個鄰接部分就足以調(diào)準電子部件，所以這會是有利的。調(diào)準 夾具的設計和制造過程可以是節(jié)省成本的。由于僅使用一個彈性單元，因此當通過鄰接區(qū) 段之一的兩個成角度的側(cè)面部分來接合電子部件時，對電子部件進行的調(diào)準會很可靠。一 個彈性單元的方位可限定傾斜力的方向和兩個成角度的分力的方向和大小。傾斜力可以相 對于電子部件的側(cè)面部分是傾斜的或者是成角度的。第一鄰接區(qū)段的方向和第二鄰接區(qū)段 的方向可被限定為分別平行于電子部件的側(cè)面部分的定向。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中的至少一個可適于以外形鎖定(具體來說是緊 固)的方式接合電子部件的兩個成角度的側(cè)面部分。電子部件可以是半導體部件并可呈帶 有六個不同表面的基本上為立方體的形狀。兩個相對的主表面、通常稱之為記號側(cè)和平行 的接觸側(cè)可表示半導體部件的主平面，這是由于通常記號側(cè)和接觸側(cè)的面積大于半導體部 件的其它四個側(cè)面部分的面積。由此，電子部件的由電子部件的側(cè)面部分的高度所限定的 高度可小于主表面的兩側(cè)的長度?？蛇m用三種布置第一，電子部件可以其側(cè)面部分中的一個第一側(cè)面部分的一部 分鄰接在經(jīng)由彈性單元以外形鎖定的方式安裝的鄰接區(qū)段上，并可以其側(cè)面部分中的第二 側(cè)面部分的另外一部分鄰接在經(jīng)由彈性單元以外形鎖定的方式安裝的鄰接區(qū)段上。電子部 件可以其側(cè)面部分中的其余一個側(cè)面部分或拐角區(qū)域鄰接在固定安裝的鄰接區(qū)段上?？赏?過一個側(cè)面部分將電子部件調(diào)準到固定安裝的鄰接區(qū)段。第二，電子部件可以其側(cè)面部分 中的一個第一側(cè)面部分的一部分或拐角區(qū)域鄰接在經(jīng)由彈性單元安裝的鄰接區(qū)段上。該電 子部件可以其側(cè)面部分中的兩個成角度的且其余的側(cè)面部分鄰接在以外形鎖定的方式固 定安裝的鄰接區(qū)段上?？梢詢蓚€側(cè)面部分將電子部件調(diào)準到固定安裝的鄰接區(qū)段。第三， 電子部件可以其側(cè)面部分中的一個第一側(cè)面部分的一個部分鄰接在經(jīng)由彈性單元安裝的 鄰接區(qū)段上，并可以其側(cè)面部分中的第二側(cè)面部分的另外一部分鄰接在經(jīng)由彈性單元安裝 的鄰接區(qū)段上。電子部件還可以其側(cè)面部分中的一個第三側(cè)面部分和剩余的第四側(cè)面部分 鄰接在固定安裝的鄰接區(qū)段上?？赏ㄟ^兩個側(cè)面部分將電子部件調(diào)準到固定安裝的鄰接區(qū)段。根據(jù)所述第一、第二和第三實施方式，可以完全限定出電子部件在其主平面中的位置。調(diào)準夾具可包括另外的彈性單元，第三鄰接區(qū)段經(jīng)由該另外的彈性單元安裝，并 且其中，第一鄰接區(qū)段和第三鄰接區(qū)段可適于一起將兩個成角度的分力施加在第二鄰接區(qū) 段上。第三鄰接區(qū)段可安裝于該另外的彈性單元，并且第一鄰接區(qū)段可仍然安裝于第一彈 性單元。電子部件可通過第一鄰接區(qū)段和第三鄰接區(qū)段朝第二鄰接區(qū)段調(diào)準。彈性單元和 該另外的彈性單元可施力，其中，這些力彼此成角度。第一鄰接區(qū)段和第三鄰接區(qū)段可適于接合電子部件的兩個或至少兩個側(cè)面部分。 通過接合至少兩個成角度的側(cè)面部分，可將電子部件朝第二鄰接區(qū)段完全調(diào)準。兩個鄰接 區(qū)段可適于在根據(jù)電子部件的兩個自由維度的兩個維度中調(diào)準電子部件。電子部件可僅在 平行于接收器的主平面的平面中移動。在第三力可接合在電子部件的第三側(cè)面部分上的情 況下，會對系統(tǒng)進行過度限定。調(diào)準夾具可進一步包括框架，具體來說是以可滑動的方式安裝的框架，其中，第一 鄰接區(qū)段和彈性單元安裝在以可滑動的方式安裝的框架上。這種框架可以是例如由比如四 桿或棒形成的矩形結(jié)構。第一鄰接區(qū)段和彈性單元可被安裝在由這些桿或棒所界定的區(qū) 域內(nèi)。在一種實施方式中，該另外的彈性單元同樣可被安裝于浮動接收器框架處。框架又可 以或可以不以固定或可伸縮的方式安裝在諸如板之類的外部支承結(jié)構上。在一種實施方式 中，以可滑動的方式安裝的框架可包括調(diào)整單元，以允許對接收器的調(diào)準性能進行微調(diào)。第 一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段可接合電子部件并可通過第一鄰接區(qū)段以平行于接收器的主 平面的方式調(diào)準電子部件。而且，可將第一鄰接區(qū)段和其上安裝有第二鄰接區(qū)段的彈性單 元均以可滑動的方式安裝在接收器的主平面中的框架上。通過為可滑動地安裝的框架設置 調(diào)整單元，能夠允許對調(diào)準夾具中的接收器和接收在該接收器中的電子部件進行微調(diào)?？?經(jīng)由至少一個另外的彈性單元彈性地安裝可滑動地安裝的框架。特別地，調(diào)準夾具可進一步具有框架、特別是可滑動地安裝的框架，其中，彈性單 元和另外的彈性單元中的至少一個以及第二鄰接區(qū)段安裝在框架上。由第一鄰接區(qū)段、第二鄰接區(qū)段、彈性單元、另外的彈性單元、底座支承區(qū)段和可 滑動地安裝的框架所構成的組中的至少一個可以至少部分由板一體形成。通過采用諸如蝕 刻技術或激光技術之類的設計技術由板制造至少一個功能元件是很方便的。這些技術可最 佳地適于將它們施加在諸如金屬板之類的薄板上。通過蝕刻或激光切割，可獲得用于被制 造的結(jié)構的高精度。由第一鄰接區(qū)段、第二鄰接區(qū)段、彈性單元、底座支承區(qū)段和可滑動地安裝的框架 所構成的組中的至少兩個可以至少部分由一個板一體形成。由一個板一體形成功能元件中 的至少一個功能元件的優(yōu)點同樣適用于由一個板形成兩個乃至更多個功能元件。利用一個 板制造盡可能多的功能元件是更為方便的。具體來說，安裝在彈性單元上的鄰接區(qū)段和彈 性單元可以由一個板來形成。此外，第一鄰接區(qū)段可由一個板一體形成。另外，可滑動地安 裝的框架和至少一個另外的彈性單元可由一個板一體制成。由此，第一鄰接區(qū)段、第二鄰接 區(qū)段、彈性單元、可滑動地安裝的框架和至少一個另外的彈性單元或第三鄰接區(qū)段可由一 個板一體形成。當適當調(diào)整板的形式時，甚至還可由同一個板來形成底座支承區(qū)段。彈性單元和另外的彈性單元中的至少一個可由彈簧鋼絲形成。由彈簧鋼絲形成彈 性單元和另外的彈性單元中的至少一個會是有利的。彈簧鋼絲可適于以最適宜的方式表現(xiàn)出彈性。彈簧鋼絲可以適當?shù)姆绞叫纬刹⒖梢子谕扛灿斜憩F(xiàn)出預期的電阻率特性的涂 層。彈簧鋼絲還可用于支承電子部件的外部電氣引腳。在由一根彈簧鋼絲部分形成的情況 下，彈性單元可在一個部分中提供多種功能。特別地，調(diào)準夾具包括在第一鄰接區(qū)段處形成的可致動結(jié)構，該可致動結(jié)構可由 對應的致動結(jié)構致動，用于操縱接收器。在下文中，將描述載體的另一示例性實施方式。但是，這些實施方式同樣適用于所 述調(diào)準夾具并適用于所述方法。用于調(diào)準多個電子部件的載體可設置有多個調(diào)準夾具。在實施方式中，多個調(diào)準 夾具可基于共用基板(其可由一個或多個板構成)而被一體形成。每個接收器可被指定有至少一個彈性單元。可存在被指定給一個接收器的一個或 多個彈性單元。通過將至少一個彈性單元指定給一個接收器，存在以獨立于另一電子部件 的方式調(diào)準一個電子部件的方法。這會是有利的，因為接收和調(diào)準一個第一電子部件并不 影響接收和調(diào)準另一第二電子部件?？蓪⒅辽僖粋€彈性單元指定給接收器中的多個接收器。彈性單元可包括不止一個 彈性區(qū)段，并可被設置成將兩個鄰接區(qū)段安裝在一個彈性區(qū)段的相對側(cè)上。甚至是三個、四 個、五個或者更多個接收器可共用一個彈性單元。而且，為一個彈性單元提供不止一個彈性 區(qū)段可以節(jié)省成本且節(jié)約空間。為彈性單元板設置分別與存在的接收器或電子部件一樣多 的彈性單元和彈性區(qū)段是適當?shù)?。載體可以設有包括彈性單元在內(nèi)的第一板并設有第二板，其中，該第一板可以可 滑動的方式設置在第二板的上方，并且第一板可適于允許多個調(diào)準夾具相對于第二板共同 滑動。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，載體可包括多個接收器，每個接收器均接收多個電子 部件中指定的一個電子部件。多個接收器的尺寸可由第一板的第一鄰接區(qū)段和第二板的第 二鄰接區(qū)段界定。第一板的第一鄰接區(qū)段和第二板的第二鄰接區(qū)段可位于接收器的相對側(cè) 上。第一板和第二板可以是能夠沿第一板的主平面和第二板的主平面相對于彼此移動的， 并且當?shù)谝话迮c第二板的相對位置相對于彼此發(fā)生改變時，接收器的尺寸可以發(fā)生變化。 第一板和第二板可位于彼此平行的位置處?？裳貙欠较蚋淖兊谝话宓奈恢煤偷诙宓?位置，即可使第一板的拐角區(qū)域和第二板的拐角區(qū)域接近和與之相反地將其拉開。第一板 的移動和第二板的移動或者第一鄰接區(qū)段與第二鄰接區(qū)段的接近或拉開可發(fā)生在第一板 的主平面和第二板的主平面中。當?shù)谝话宓墓战菂^(qū)域與第二板的拐角區(qū)域靠近時，可將多 個電子部件夾持在多個接收器中的多個第一鄰接區(qū)段與多個第二鄰接區(qū)段之間。在第一板 的拐角區(qū)域和第二板的拐角區(qū)域接近和被拉開時，接收器的拐角區(qū)域可接近和被拉開。特別地，載體可包括包括彈性單元在內(nèi)的第一板和包括第二鄰接區(qū)段在內(nèi)的第 二板，其中，第一板相對于第二板以可滑動的方式設置，并且第一板適于允許多個第一鄰接 區(qū)段相對于第二鄰接區(qū)段相互重新定位。第一板可以是彈性單元板，其包括多個彈性單元，其中，每個接收器均被指定有多 個彈性單元中的至少一個彈性單元。第一鄰接區(qū)段均可分別形成在彈性單元上。彈性單 元的目的可以是可允許用于多個電子部件的不同尺寸的補償公差。否則，由于電子部件的 尺寸不同，電子部件可能從接收器脫落或者可能導致未調(diào)準。彈性單元可具體為彈性涂層 或橡膠部件以允許對第一鄰接區(qū)段的彈性性能進行調(diào)整。彈性單元還可以是任意彈性的單元，諸如任意種類的彈簧。在一種實施方式中，第一板和第二板可以被設置成相互平行。第 一板可設置在第二板上并可沿第二板移動。至少在可以是朝向第二板的方向的一個方向 上，可將第一板緊固住以使其不產(chǎn)生所不希望的變形。第二板可以是平坦的或者可以具有 適于引導第一板的移動的凹部。每個彈性單元的位置或變形狀態(tài)可決定相應的指定接收器的邊界中的一個。彈性 單元的位置可決定接收器的尺寸，并且彈性單元的變形狀態(tài)也可決定接收器的尺寸。彈性 單元的位置可隨著第一板與第二板相對于彼此的位置而共同發(fā)生改變。每個第一鄰接區(qū)段 的位置可相對于每個第二鄰接區(qū)段而發(fā)生改變。第一板與第二板相對于彼此的位置的變化 可導致每個接收器的尺寸以相同的方式共同變化，即接收器的尺寸可共同增大或接收器的 尺寸可共同減小。但是，每個接收器可分別隨著彈性單元的變形狀態(tài)的改變而單獨地改變 其尺寸。當彈性元件進入到預加應力的位置中時，彈性單元的變形狀態(tài)和接收器的尺寸可 增大，并當釋放張力時，彈性單元的變形狀態(tài)和接收器的尺寸可減小。第一板和第二板可通過至少一個板連接彈性單元彼此彈性地聯(lián)接。通過至少一 個板連接彈性單元將第一板與第二板相聯(lián)是有利的。當接收器的尺寸共同增加時，至少一 個板連接彈性單元會處于張緊狀態(tài)，并且當?shù)谝话搴偷诙甯淖兯鼈兊奈恢檬沟媒邮掌鞯?尺寸減小時，可至少部分減小板連接彈性單元的張力。當至少一個板連接彈性單元的張力 以自作用的方式得以釋放時，可共同減小接收器的尺寸。第二板可包括適于鄰接第一板的第一板鄰接區(qū)段。第一板可包括適于鄰接第二板 的第二板鄰接區(qū)段。第二板鄰接區(qū)段和第一板鄰接區(qū)段可在第一板鄰接區(qū)段與第二板鄰接 區(qū)段彼此鄰接時限定出接收器的夾持尺寸，其中，接收器的夾持尺寸可適于將電子部件夾 持在相應的接收器中。接收器的夾持尺寸可由第一板與第二板相對于彼此的位置來提供， 其中，每個接收器均可適于夾持相應的電子部件。術語“夾持”可具體表示載體可被設計成 使部件合攏用于保持或壓緊電子部件。可以被合攏到一起的部件為第一鄰接區(qū)段和第二鄰 接區(qū)段。板連接彈性元件和多個彈性單元可適于提供用于從接收器的擴大尺寸朝接收器 的縮小的夾持尺寸進行自作用轉(zhuǎn)變的合力，其中，在該接收器的擴大尺寸下，電子部件可以 是能夠被接收在接收器中的，在該接收器的縮小的夾持尺寸下，可夾持住電子部件。當電子 部件進入到夾持位置中時，合力可通過從由至少一個板連接彈性單元施加的力中減去由多 個彈性單元施加的力來限定。至少一個板連接彈性單元的力可大于由多個彈性單元施加 的力。合力可以是正的，并且可提供從接收器的擴大尺寸朝接收器的夾持尺寸的自作用轉(zhuǎn) 變，在接收器的夾持尺寸下，第一板的第二板鄰接區(qū)段和第二板的第一板鄰接區(qū)段可彼此 鄰接。載體可進一步包括形成于第一板處和第二板處的處理結(jié)構。該處理結(jié)構可適于操 作第一板和第二板以克服板連接彈性元件的力而使以可滑動方式設置的第一板和第二板 朝接收器的擴大尺寸相對地移動。載體的處理結(jié)構可適于克服通過從由至少一個板連接彈 性單元的力中減去多個彈性單元的力所提供的合力而使第一板和第二板相對移動。處理結(jié) 構可適于克服該合力而將接收器擴大至擴大尺寸，在該擴大尺寸下，可將電子部件的本體 接收在接收器中。載體可包括第一板、第二板和第三板。第一板可包括彈性單元，并且可以浮動的方式設置在第二板與第三板之間。第一板可適于允許多個調(diào)準夾具相互浮動。載體可包括第 三板，其中，第一板可浮動地設置在第二板與第三板之間，其中，該第二板與該第三板可彼 此固定安裝。第一板可以是彈性單元板，并且可適于允許多個接收器的相互浮動(具體來 說是被連接或構造成以便進行平穩(wěn)地操作和調(diào)整)。術語“浮動”可具體表示為在沒有限定 的外部控制的情況下的漂移。特別地，“浮動”可表示第一板可在存在小的或可以忽略的摩 擦力的情況下相對于第二板和第三板改變其位置。處理結(jié)構可適于使第一板在克服合力的 情況下朝接收器的擴大尺寸移動。板連接彈性單元可適于使第一板朝接收器的夾持尺寸移 動。第一板、第二板和第三板可彼此平行設置。第一板可沿第二板和第三板移動，在第二板 與第三板之間設置有第一板。第一板可被緊固住，以使其不在可以是朝向第二板的方向和 朝向第三板的方向的各個方向上發(fā)生所不希望的變形。第二板和第三板可以是平坦的或者 可具有適于引導第一板的移動的凹部。特別地，載體可包括第一板、第二板和第三板，其中，第一板和第二板中的一個包 括彈性單元，第一板浮動地設置在第二板與第三板之間，并且第一板適于允許多個第一鄰 接區(qū)段相對于第二鄰接區(qū)段相互重新定位。第二板可以是底座支承板，并且可包括底座支承區(qū)段，其可適于支承電子部件的 主表面。接收器的底座支承區(qū)段可由第二板形成。指定給相應的接收器的底座支承板可延 伸至由一個板一體形成的或由多個底座支承板構成的第二板。第二板的方位可平行于每個 接收器，并且可平行于每個底座支承區(qū)段。由每個底座支承區(qū)段施加的支承力可垂直作用 在電子部件的主平面上，并且可以相互平行。第三板可以是接收板，并且可適于至少部分地界定出接收器的接收開口。第三板 可覆蓋住第一板?？山?jīng)由第三板將電子部件放入到載體的接收器中。第三板可以由一個板 一體形成或可以由多個接收板構成。第一板或第三板可包括第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中被固定安裝的一個鄰接 區(qū)段。第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段可由第一板或第三板形成。當被固定安裝的鄰接區(qū)段 由可具體表現(xiàn)為彈性單元板的第一板形成時，該鄰接區(qū)段可與第二鄰接區(qū)段處于同一高度 處。這對于極薄的電子部件而言是有利的。當被固定安裝的鄰接區(qū)段由第三板形成時，可 通過使第一鄰接區(qū)段與第二鄰接區(qū)段相互靠近或者通過將第一鄰接區(qū)段與第二鄰接區(qū)段 拉開而改變接收器的尺寸。在下文中，將描述所述方法的另一示例性實施方式。但是，這些實施方式同樣適用 于所述調(diào)準夾具并適用于所述載體。該方法可進一步包括將電子部件放置在后加工機器中，并隨后在電子部件保持處 在位于載體的接收器中的調(diào)準位置下時，使電子部件接受后加工機器的操作。后加工方法 可具體指代對電子部件進行評估或測試的方法。由此，后加工機器可具體指代用于對電子 部件進行評估或測試的機器。在后加工期間，電子部件會經(jīng)受不同物理條件的作用，以獲取 有關電子部件的質(zhì)量的信息。后加工可具體指代通過使電子部件經(jīng)受所關注的多種電氣和 /或機械條件的作用而對電子部件進行質(zhì)量測試或質(zhì)量評估。該方法可進一步包括通過夾持機構僅在電子部件的側(cè)面部分上彈性地夾持電子 部件?？蓪㈦娮硬考胖迷谳d體的擴大的接收器中，并隨即可通過夾持機構將電子部件彈 性地夾持在夾持尺寸的接收器中并在其中得到調(diào)準。接收器的擴大尺寸至接收器的夾持尺寸的轉(zhuǎn)變可發(fā)生在接收器的主平面中。接收器的主平面可與載體的主平面、電子部件的主 平面、以及調(diào)準夾具的主平面相匹配。可將載體放置在后加工機器中。當電子部件被夾持 在接收器中并在其中被調(diào)準時，電子部件可接受后加工機器的操作。該方法可進一步包括為載體設置識別特征或識別符，用于確切地(具體來說精 確、唯一或明確地)識別該載體。后加工機器可形成裝配線?？蓪⑤d體從一個后加工機器輸 送至另一個后加工機器。在后加工期間，在工廠中對每個載體進行的唯一的識別使得能夠 在工廠中追蹤(具體來說是跟蹤)每個載體的路線，并且使得能夠追蹤每個電子部件。由 此，可通過識別特征在裝配線中追蹤每個載體和每個電子部件。該方法可進一步包括為載體設置用于基準檢測的基準標記。視覺系統(tǒng)與基準標記 或標志一起可在后加工機器中提供對于載體的位置和方位的檢測。在需要對載體進行精確 調(diào)準例如用于標記或接觸電子部件的操作過程中，這會是有利的。該方法可以包括利用第二鄰接區(qū)段調(diào)準電子部件，其中，可通過安裝有第一鄰接 區(qū)段的彈性(具體來說是可伸縮的、回彈性的或有彈力的)單元(具體來說是用以執(zhí)行一 個具體功能的設備零部件或零件)以自作用的方式施加第一力。每一個第一鄰接區(qū)段均可 至少安裝于彈性單元中的指定的一個彈性單元。彈性單元可均朝第二鄰接區(qū)段施加第一 力。每一個第二鄰接區(qū)段均被指定給第一鄰接區(qū)段中的一個。可通過第二鄰接區(qū)段調(diào)準 電子部件。該方法可進一步包括將兩個分力施加在第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段中的至少 一個上，以使該鄰接區(qū)段將兩個成角度的分力施加在電子部件上。后加工可包括在通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作該載體來移動電子部 件的同時進行激光打標。當電子部件被夾持在接收器中并在其中被調(diào)準時，電子部件可接 受激光打標工序。電子部件可具有與接觸側(cè)是否鄰接底座支承區(qū)段或者記號側(cè)是否鄰接底 座支承區(qū)段無關的易于觸及的記號側(cè)。在接觸側(cè)與底座支承區(qū)段鄰接的情況下，記號側(cè)暴 露于接收側(cè)，并且可在不存在任何限制的情況下接受激光打標。在記號側(cè)與底座支承區(qū)段 鄰接的情況下，接收器的底座支承區(qū)段可在它們的中央具有出入孔，該出入孔僅延伸到遠 至電子部件的邊緣區(qū)域仍舊與底座支承區(qū)段鄰接。后加工可包括當通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作該載體來移動電子部 件時的老化測試。在老化測試中，電子部件、特別是半導體裝置可受熱預定的時間間隔(例 如經(jīng)受高達200°C的溫度持續(xù)不足一小時到長達數(shù)小時)。在老化測試期間，電子部件可通 過電流饋電另外接受功率測試，和/或電子部件可接受電子測試，用于測試電子部件的電 子質(zhì)量。通過由諸如金屬、熱固性塑料或樹脂之類的耐溫材料制成載體，該載體可適于耐受 尚溫。后加工可包括當通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作該載體來移動電子部 件時的烘烤過程。該烘烤過程可以是一種使電子部件在不存在任何電氣測試或電力負載的 情況下受熱預定的時間間隔(例如經(jīng)受高達200°C的溫度不足一小時到長達數(shù)小時)的過 程。利用耐溫材料形成載體可使得該載體能夠耐受烘烤過程，其中，電子部件在高溫下持續(xù) 約一個小時。烘烤過程可用于降低電子部件上的電力負載，以進一步繼續(xù)進行最終測試。后加工可包括當通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作該載體來移動電子部 件時在處理機上進行的最終測試。具有多種實施方式的最終測試可以是在組裝電子部件前執(zhí)行的測試。對諸如半導體裝置之類的電子部件進行的最終測試可以是電子功能測試，并 且可包括多種物理測試條件，例如多種溫度、壓力、加速度和傾角的任意組合。由于載體由 耐受機械應力和溫度應力的一種或多種材料制成，因此，載體可適于在這些變化條件下調(diào) 準電子部件，并且可適于允許接觸電子部件的觸點。在一種實施方式中，后加工并不包括在通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作 該載體來移動電子部件時在處理機上進行的最終測試。在激光打標、老化或烘烤測試后，可 即刻在電子部件上進行選擇性打標。特別地，后加工并不包括在通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作該載體來移 動電子部件時在處理機上進行的最終測試。后加工可包括在通過載體保持和調(diào)準電子部件并通過操作該載體來移動電子部 件時進行的選擇性打標。參照對于激光打標進行的說明，其對于諸如激光打標之類的選擇 性打標同樣適用電子部件可具有與接觸側(cè)是否鄰接底座支承區(qū)段或者記號側(cè)是否鄰接底 座支承區(qū)段無關的易于觸及的記號側(cè)，在接觸側(cè)與底座支承區(qū)段鄰接的情況下，記號側(cè)暴 露于接收側(cè)，并且可在不存在任何限制的情況下接受激光打標。在記號側(cè)與底座支承區(qū)段 鄰接的情況下，接收器的底座支承區(qū)段可在它們的中央具有開口，該開口延伸到遠至電子 部件的邊緣區(qū)域與底座支承區(qū)段鄰接。在選擇性打標后，放置在載體中的電子部件可選擇 性地標記出“ + (positive) ”、選擇性地標記出“-(negative) ”或可全部標記“ + ”或者“_”。 也可以是(不同于“ + ”或“_”的)其它類別。選擇性打標還可包括指出電子部件的質(zhì)量特 征的標記，例如表示用以操作半導體裝置的最大頻率的標記。可在無需將電子部件從載體上移除的情況下執(zhí)行由激光打標、老化測試、烘烤、最 終測試和選擇性打標構成的組中的至少兩個。換言之，可在電子部件在載體中保持調(diào)準的 同時，執(zhí)行這些或其它工序中的多個工序。該載體可適于耐受多種物理條件，并可在整個或 部分后加工中自始至終精確調(diào)準電子部件。由此，可在整個后加工或部分后加工期間，將電 子部件保持在載體中并在其中將其調(diào)準。在后加工之后，可在通過載體保持和調(diào)準電子部件的同時，通過將載體從后加工 機器上移除而將電子部件從后加工機器中移除。本發(fā)明的上述方面和其它方面通過在下文中將要進行描述的實施方式的示例而 變得顯而易見，并且參照實施方式的這些示例對本發(fā)明的上述方面和其它方面進行說明。下面將參照實施方式的示例更為詳細地描述本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限于這些實 施方式的示例。


圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的載體的細節(jié)圖，并且圖2示出了根據(jù) 本發(fā)明的示例性實施方式的載體的概覽圖。圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的載體的細節(jié)圖，并且圖4示出了根據(jù) 本發(fā)明的示例性實施方式的載體的概覽圖。圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的單獨的彈性構件的細節(jié)圖，并且圖6 示出了具有根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的這種單獨的彈性構件的載體的分解圖。圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的電子部件，并且圖8示出了用于容置根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的這種電子部件的載體的細節(jié)圖。圖9示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的載體的分解圖，并且圖10示出了根據(jù) 本發(fā)明的示例性實施方式的載體的細節(jié)。圖11示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的在將單獨的彈性構件安裝于彈性單 元板之前的載體的彈性單元板，并且圖12示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的在將該 單獨的彈性構件安裝于彈性單元板之后的對應載體的細節(jié)圖。圖13示出了用于根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的載體的調(diào)準夾具的細節(jié)圖，并 且圖14示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的這種載體的概覽圖。圖15和圖16示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的載體的細節(jié)圖。
具體實施例方式圖中所示是示意性的。在不同的圖中，相似的或相同的元件設有相同的附圖標記。圖1示出了描繪出調(diào)準夾具10的彈性單元板110的細節(jié)的俯視圖。調(diào)準夾具10 可包括第一鄰接區(qū)段31和彈性單元41，它們共同形成了一體形成的單獨的構件。調(diào)準夾具 10可進一步包括第二鄰接區(qū)段51，其中，該第二鄰接區(qū)段51是彈性單元板110的一部分。 由第一鄰接區(qū)段31和彈性單元41形成的該單獨的構件可進一步包括彈性單元固定件82。 該彈性單元固定件82可以是筒形突起，其以外形鎖定的方式(例如采用機械鎖定機構)被 夾在構成彈性單元接收區(qū)段90的對應成形的筒形凹部中。彈性單元固定件82與彈性單元 接收區(qū)段90均可被歸屬于調(diào)準夾具10。在該實施方式中，接收器20包括至少第一鄰接區(qū) 段31和第二鄰接區(qū)段51并界定出用于容置諸如封裝的半導體芯片之類的電子部件(圖1 中未示出)的容置空間。彈性單元41包括第一彈簧元件42和第二彈簧元件44，第一彈簧 元件42和第二彈簧元件44均被剛性地聯(lián)接于彈性單元固定件82并剛性地聯(lián)接于第一鄰 接區(qū)段31，并被設置在這兩個部件之間。第一彈簧元件42和第二彈簧元件44允許第一鄰 接區(qū)段31進行彈性移動。在圖1的實施方式中，第一鄰接區(qū)段31和彈性單元41由同一板 一體形成。第一鄰接區(qū)段31包括第一部分32和第二部分34，它們彼此成角度并形成具有 拐角形或L形外觀的剛性構件。通過將處理裝置的致動銷插入到鄰接區(qū)段致動孔39中并通過朝彈性單元固定件 82移動這種銷而致動形成在第一鄰接區(qū)段31中的鄰接區(qū)段致動孔39，使得彈性單元41進 入到預加應力的位置(具體來說是壓縮位置)中，在該位置中，由于使第一鄰接區(qū)段31遠 離第二鄰接區(qū)段51移動，因此使接收器20擴大。第二鄰接區(qū)段51包括第一部分52和第 二部分54。第一鄰接區(qū)段31的第一部分32與第二鄰接區(qū)段51的第二部分54對置。相應 地，第一鄰接區(qū)段31的第二部分34與第二鄰接區(qū)段51的第一部分52對置。第一鄰接區(qū) 段31與第二鄰接區(qū)段51因此適于在位于它們之間的空間中接合電子部件1(在圖1中未 示出)。圖Ia示出了根據(jù)圖1中所示實施方式的單獨的彈性構件。第一多迂曲的彈簧元 件42從懸架82朝第一鄰接區(qū)段31的第一部分32延伸。第二多迂曲的彈簧元件44從懸 架82朝第一鄰接區(qū)段31的第二部分34延伸。第一鄰接區(qū)段31呈L形并在L形外形的中 部包括可致動孔。第一彈簧元件42和第二彈簧元件44共同形成彈性單元41。圖2示出了包括圖1中所示細節(jié)在內(nèi)的載體100的細節(jié)的俯視圖、即平面圖。彈性單元板110包括帶有十六個對應的彈性單元的十六個彈性單元接收開口 114，其形成以 類似于矩陣的方式設置的十六個調(diào)準夾具10。在彈性單元板110的下方，安置有底座支承 板(圖2中未示出，對照圖6)?；鶞试?18可安置在第一板110的一個側(cè)部處。圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施方式的描繪出接收器20的彈性單元板 110的細節(jié)的俯視圖，該接收器20可以是單獨的構件并且可以被夾至帶圖案的彈性單元板 110。彈性單元板110可包括彈性單元接收開口 114和彈性單元接收區(qū)段90。彈性單元接 收開口 114適于接收對應的調(diào)準夾具10的整個接收器20。彈性單元接收區(qū)段90適于與彈 性單元固定件82以外形鎖定的方式接合。第二鄰接區(qū)段51和彈性單元固定件82 —起形 成剛性構件。因此，第二鄰接區(qū)段51固定安裝于彈性單元板110。第一鄰接區(qū)段31經(jīng)由彈 性單元41固定安裝于第二鄰接區(qū)段51處。該接收器20的實施方式在其主要功能方面類 似于圖1中示出并討論的實施方式。底座支承區(qū)段71可由靠近第一鄰接區(qū)段的部分和靠 近第二鄰接區(qū)段的部分形成。底座支承區(qū)段的靠近第一鄰接區(qū)段的部分可以通過彈性單元 聯(lián)接于底座支承區(qū)段的部分。根據(jù)圖1的實施方式與根據(jù)圖2的實施方式之間的差別在于，在根據(jù)圖1的實施 方式中，彈性單元施加壓縮力以夾持電子部件，并且在根據(jù)圖3的實施方式中，彈性單元施 加牽引力以夾持電子部件。圖4示出了包括圖3中所示細節(jié)在內(nèi)的載體100的細節(jié)的俯視圖。彈性單元板 110包括帶有九個對應的彈性單元接收區(qū)段90的九個彈性單元接收開口 114。四個調(diào)準夾 具10設有四個對應的接收器20?；鶞试?18可安置于第一板110的一個側(cè)部處。圖5示出了包括接收器20在內(nèi)的單獨的彈性構件的立體圖，并且圖6在分解圖中 示出了相應的載體100。由于單獨的彈性構件表現(xiàn)為具有長形區(qū)段和環(huán)形區(qū)段的單元固定 件82，因此該單獨的彈性構件可被夾至彈性單元板110，在圖6中示出。圖6中示出的彈 性單元板110可包括彈性單元接收開口 114和彈性單元接收區(qū)段90。彈性單元接收開口 114適于接收對應的調(diào)準夾具的整個接收器20。彈性單元接收區(qū)段90適于與彈性單元固 定件82以外形鎖定的方式接合。第二鄰接區(qū)段51和彈性單元固定件82 —起形成剛性構 件。因此，第二鄰接區(qū)段51固定安裝于彈性單元板。第二鄰接區(qū)段51包括第一部分52和 與第一部分52成角度的第二部分54。第一鄰接區(qū)段32經(jīng)由彈性單元46以可伸縮的方式 (flexibly)安裝，并且第三鄰接區(qū)段34經(jīng)由彈性單元48以可伸縮的方式安裝。圖6是包括根據(jù)圖5的單獨的彈性構件在內(nèi)的載體100的分解圖。載體100包括 彈性單元板110，其可將單獨的彈性構件接收在接收開口 114中。該載體可另外包括底座支 承板120和接收板130。接收板130包括接收開口 135，待經(jīng)由該接收開口 135接收電子部 件1。在該圖中可見接收板130的九個接收開口 135。該載體可包括任意數(shù)量的接收開口 135和對應數(shù)量的接收器。底座支承板120中的出入孔125允許從電子部件1的第二主表 面觸及電子部件1。示出為倒置(接觸側(cè)2向上)的電子部件1可在記號側(cè)上接受操作。 單獨的彈性構件可被插入到彈性單元接收區(qū)段90，以使單獨的彈性構件填充接收開口 114 的自由空間。圖7示出了處于稱之為S0(小型，small outline)封裝的實施方式中的電子部件 1。電子部件1的外部引腳3可與彈簧鋼絲141的引腳鄰接區(qū)段146鄰接。彈簧鋼絲141 示出了第一鄰接區(qū)段143，其適于被彈簧鋼絲的彈性力朝電子部件1的側(cè)面部分擠壓，以將電子部件1朝其相對側(cè)調(diào)準。圖8示出了底座支承板120、第一彈簧鋼絲部分141和第二彈簧鋼絲部分145的細 節(jié)。第一彈簧鋼絲部分141和第二彈簧鋼絲部分145均被彎成兩個U形轉(zhuǎn)彎部149，這兩個 U形轉(zhuǎn)彎部149均裝配到底座支承板120的凹部215中。在這兩個U形轉(zhuǎn)彎部149之間形 成引腳鄰接區(qū)段146的連接部分可安置在底座支承板120的示出為沒有凹部的部分上。因 此，第一彈簧鋼絲部分141和第二彈簧鋼絲部分145被固定住而不能旋轉(zhuǎn)。第一彈簧鋼絲 部分141示出有第一鄰接區(qū)段143，該第一鄰接區(qū)段143用于與電子部件1的側(cè)面部分鄰 接。電子部件1可延伸穿過出入孔125。圖9示出了根據(jù)圖7和圖8的實施方式的載體100的細節(jié)的分解圖。載體100包 括第一板110、第二板120和第三板130。如圖8所示，底座支承板120適于接收第一彈簧 鋼絲部分141和第二彈簧鋼絲部分145。當將彈性單元板110和底座支承板120放置到一 起時，彈性單元板110可適于部分覆蓋第一彈簧鋼絲部分141和第二彈簧鋼絲部分145?？?指代接收板的第三板130可覆蓋彈性單元板110，以使彈性單元板110位于接收板130與 底座支承板120之間。由于電子部件1的厚度可大于載體100的厚度，因此第一板110、第 二板120和第三板130中的每個均具有適于接收電子部件1的指定的第一接收開口 115、第 二接收開口 125和第三接收開口 135(如圖9所示)。圖10示出了處于裝配形式中的載體100的細節(jié)，參見圖9中的同一載體的分解 圖。電子部件1安置在載體100中。圖11示出了根據(jù)本發(fā)明的另一示例性實施方式的載體的細節(jié)，該載體包括彈性 單元板Iio和底座支承板120。該底座支承板120形成底座支承區(qū)段71并包括致動凹部 982和984。兩個致動凹部982和984設置在靠近彈性單元接收區(qū)段90的區(qū)域中。圖12示出了根據(jù)圖11的帶有彈性單元41的調(diào)準夾具10的整體。接收器20包 括第一鄰接區(qū)段332，其經(jīng)由彈性單元41以可伸縮的方式安裝；第二鄰接區(qū)段51，其形成 剛性矩形構件；第三鄰接區(qū)段334，其經(jīng)由彈性單元41以可伸縮的方式安裝；和底座支承區(qū) 段71，其由底座支承板形成。參見圖11和圖12，彈性單元41以外形鎖定的方式裝配到彈 性單元接收區(qū)段90的開口中。安裝于第一彈簧區(qū)段46的第一鄰接區(qū)段332和安裝于第二 彈簧區(qū)段48的第三鄰接區(qū)段334適于朝第二鄰接區(qū)段51施加兩個成角度的力。固定聯(lián)接 于第一鄰接區(qū)段332的致動臂62位于致動凹部982的上方，以允許致動第一鄰接區(qū)段。固 定聯(lián)接于第三鄰接區(qū)段334的致動臂64位于致動凹部984的上方以允許致動第三鄰接區(qū) 段。圖13示出了包括以可浮動的方式安裝的接收器20在內(nèi)的調(diào)準夾具10。盡管出 于簡潔的目的并未示于圖13中，但接收器20可例如以圖1、圖3、圖5、圖8或圖12中所示 的方式進行構造。經(jīng)由兩個相對的彈性單元49以可浮動的方式安裝有可浮動的安裝框架 27。集成在可浮動的安裝框架27中的接收器20同樣是可浮動的。設置在可浮動的安裝框 架27上的調(diào)整單元28允許對可浮動的安裝框架27進行微調(diào)，并進而對接收器20進行微 調(diào)。三個調(diào)整單元28可允許在調(diào)準夾具10的主平面中對接收器進行微調(diào)。圖14示出了整個載體100的俯視示意圖，該整個載體100具有以4 X 9調(diào)準夾具 的矩陣形式設置的三十六個調(diào)準夾具。設置在載體100的邊緣區(qū)域中的兩個基準元件118 可用于調(diào)準載體100。
圖15和圖16示出了根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的載體100的細節(jié)的俯視圖， 其中，載體100包括以可滑動的方式設置的彈性單元板110，該彈性單元板110經(jīng)由板連接 彈性單元154彈性聯(lián)接于彈性單元板框架111。彈性單元板框架111固定安裝于接收板130 處。由此，通過彎曲該板連接彈性單元154，彈性單元板110可相對于具有形成第二鄰接區(qū) 段51的接收開口 135的接收板130滑動。經(jīng)由彈性單元41安裝于彈性單元板110處的 第一鄰接區(qū)段31可相對于第二鄰接區(qū)段51滑動，該第二鄰接區(qū)段51可形成為接收板130 的固定部分。由第一鄰接區(qū)段31和第二鄰接區(qū)段51形成的接收器20的接收器開口 48可 通過使彈性單元板110相對于接收板130滑動而擴大。由于接收板130和彈性單元板框架 111可固定聯(lián)接于固定孔208，因此通過利用致動力210接合彈性單元致動孔258而相對于 接收板130和彈性單元板框架111滑動，可對彈性單元板110進行重新定位?？墒┘臃聪?力200以克服致動力210的力而固定住載體100。在若干固定點156處，接收板130與彈性 單元板框架111可彼此固定聯(lián)接。參照圖15，固定安裝于接收板130的第一板鄰接區(qū)段134與可指代彈性單元板 110的第一板110的第二板鄰接區(qū)段914彼此鄰接。間隔件257可適于調(diào)節(jié)接收器開口 48 的尺寸。當?shù)谝话遴徑訁^(qū)段134與第二板鄰接區(qū)段914彼此鄰接時，可獲得由第一鄰接區(qū) 段31與第二鄰接區(qū)段51所形成的接收器的夾持尺寸。接收器開口 48的尺寸可小于待接 收的電子部件1的尺寸，從而可通過第一鄰接區(qū)段31和第二鄰接區(qū)段51夾緊電子部件1。 彈性單元板110與彈性單元板框架111之間的間距259的尺寸可為間隔件257的尺寸。參照圖16，示出了接收器開口 48的接收尺寸。使彈性單元板110與彈性單元板框 架111之間的間距259擴大。因此，同樣可使接收器開口 48的尺寸擴大至一尺寸，在該尺 寸下，可將電子部件1接收在接收器20中，即接收在第一鄰接區(qū)段31與第二鄰接區(qū)段51 之間的空間中。應該注意的是，術語“包括”并不排除其它元件或步驟，并且“一”或“一個”并不排 除多個。同樣，可將結(jié)合不同的實施方式描述的元件進行組合。還應該注意的是，權利要求 中的附圖標記不應被理解為限制權利要求的范圍。本發(fā)明的實施并不被限定于圖中所示和 上文中所述的優(yōu)選實施方式。相反，甚至是在根本不同的實施方式的情況下，利用根據(jù)本 發(fā)明所示出的解決方案和原理的多種變型也都是可能的。
權利要求
1.適于調(diào)準電子部件(2)的調(diào)準夾具(10)，所述調(diào)準夾具(10)包括 彈性單元板(110)，所述彈性單元板(110)具有彈性單元接收區(qū)段(90)；接收器(20)，所述接收器(20)適于接收所述電子部件(2)并具有第一鄰接區(qū)段(31) 和第二鄰接區(qū)段(51)； 彈性單元(41)，所述第一鄰接區(qū)段(31)經(jīng)由所述彈性單元(41)以可伸縮的方式安裝，所述彈性單元(41)適于施力以將所述電子部件(2)調(diào)準到所述第二鄰接區(qū)段(51)，并且所述彈性單元(41)是適于安裝于所述彈性單元接收區(qū)段(90)處的單獨的彈性構件。
2.根據(jù)權利要求1所述的調(diào)準夾具(10)，其中，所述單獨的彈性構件與所述第一鄰接區(qū)段(31) —體形成。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的調(diào)準夾具(10)，其中，所述彈性單元接收區(qū)段(90)適于將所述彈性單元(41)固定于所述彈性單元(41)的 懸架(82)處，使得所述彈性單元(41)以不可旋轉(zhuǎn)的方式被固定。
4.一種用于調(diào)準多個電子部件(2)的載體(100)，其中，所述載體(100)包括多個根據(jù)權利要求1至3所述的調(diào)準夾具(10)。
5.根據(jù)權利要求4所述的載體(100)，其中，所述接收器(20)中的每個接收器均具有至少一個指定的彈性單元(41)。
6.根據(jù)權利要求4或5所述的載體(100)，其中，至少一個彈性單元(41)被指定給所述接收器(20)中的多個接收器。
7.一種使用根據(jù)權利要求4至6所述的載體(100)的方法，其中，所述方法包括 -致動夾持機構以在所述接收器(20)中露出大于待接收的電子部件(2)的開口 ； -將所述電子部件(2)定位在所述接收器(20)中的所述開口中；-致動所述夾持機構以縮小所述開口的尺寸，從而在所述載體(100)的所述接收器 (20)內(nèi)調(diào)準所述電子部件(2)。
8.根據(jù)權利要求7所述的方法，其中，所述方法包括 -將所述電子部件(2)放置在后加工機器中；-在所述電子部件(2)于所述載體(100)的所述接收器(20)中保持處于調(diào)準位置中的 同時，使所述電子部件(2)接受所述后加工機器的后加工操作。
9.根據(jù)權利要求7或8所述的方法，其中，所述方法進一步包括-通過夾持機構僅在所述電子部件(2)的側(cè)面部分上彈性地夾持所述電子部件(2)。
10.根據(jù)權利要求7至9所述的方法，其中，所述方法進一步包括-為所述載體(100)設置識別特征，用于對所述載體(100)進行確切的識別。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，提供了一種用于調(diào)準電子部件的調(diào)準夾具，其中，該調(diào)準夾具包括彈性單元板，該彈性單元板具有彈性單元接收區(qū)段；接收器，該接收器適于接收電子部件并且具有第一鄰接區(qū)段和第二鄰接區(qū)段；和彈性單元，第一鄰接區(qū)段經(jīng)由該彈性單元以可伸縮的方式安裝，該彈性單元適于施力以將電子部件調(diào)準于第二鄰接區(qū)段，并且該彈性單元是適于安裝在彈性單元接收區(qū)段處的單獨的彈性構件。
文檔編號G01R1/04GK101995494SQ201010257640
公開日2011年3月30日 申請日期2010年8月17日 優(yōu)先權日2009年8月18日
發(fā)明者托馬斯·霍夫曼 申請人:綜合測試電子系統(tǒng)有限公司