單晶爐的加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及單晶硅制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐的加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅是具有完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，目前被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件以及太陽能電池的制造。單晶硅使用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成的，在市場上有很廣闊的前景。目前單晶硅的拉制裝置為單晶爐，單晶爐內(nèi)的加熱裝置只要是石墨坩堝和支撐它的鍋托體，隨著硅單晶直徑的加大，單晶爐熱場的尺寸變得越來越大，相應(yīng)的，石墨坩堝的重量也大大增大。目前，使用的坩堝由于結(jié)構(gòu)簡單，存在著導(dǎo)熱不均勻，加熱緩慢的缺點，而鍋托體的承受重量不夠而導(dǎo)致?lián)p壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種導(dǎo)熱快，傳熱均勻，工作效率高且使用壽命長的單晶爐加熱裝置。
[0004]實現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種單晶爐的加熱裝置，包括石墨坩堝和鍋托體，所述石墨坩堝表面上設(shè)有若干個凹槽，石墨坩堝底面上設(shè)有凸臺，所述鍋托體設(shè)置于石墨坩堝下面，鍋托體由鍋托臺和支架構(gòu)成，鍋托臺為一個直徑逐漸增大的圓柱形腔體，鍋托臺與石墨坩堝相接觸的表面上設(shè)有與凸臺相適應(yīng)的卡槽，支架設(shè)置于鍋托臺的下表面。
[0006]所述凹槽為正方形，深度為邊長為優(yōu)點是導(dǎo)熱塊且均勻，而且美觀。
[0007]所述凹槽均布于石墨坩堝表面。
[0008]所述石墨坩堝為一個直徑逐漸減小的筒狀結(jié)構(gòu)。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:石墨坩堝表面均布的凹槽能夠在加熱過程中實現(xiàn)導(dǎo)熱快，溫度均勻的效果，鍋底的凸臺與鍋托臺上的卡槽相連接，能起到更好的固定效果，鍋托臺大直徑底部能夠承受更大的壓力，不易損壞，使用壽命變長。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]附圖中，I為石墨坩堝,2為凹槽,3為卡槽,4為鍋托臺，5為支架，6為凸臺。
【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進行進一步說明；
[0013]參見圖1所示，一種單晶爐的加熱裝置，包括石墨坩堝I和鍋托體，所述石墨坩堝I表面上設(shè)有若干個凹槽2，石墨坩堝I底面上設(shè)有凸臺6，所述鍋托體設(shè)置于石墨坩堝I下面，鍋托體由鍋托臺4和支架5構(gòu)成，鍋托臺4為一個直徑逐漸增大的圓柱形腔體，鍋托臺4與石墨坩堝I相接觸的表面上設(shè)有與凸臺相適應(yīng)的卡槽3，支架5設(shè)置于鍋托臺4的下表面。
[0014]所述凹槽2為正方形，深度可以是2mm, 3mm或4mm,邊長可以是5mm、8mm或1mm,
凹槽2均布于石墨坩堝I表面，石墨坩堝I為一個直徑逐漸減小的筒狀結(jié)構(gòu)。
[0015]本發(fā)明并不局限于所述的實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神即公開范圍內(nèi)，仍可作一些修正或改變，故本發(fā)明的權(quán)利保護范圍以權(quán)利要求書限定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.單晶爐的加熱裝置，包括石墨坩堝和鍋托體，其特征在于:所述石墨坩堝表面上設(shè)有若干個凹槽，石墨坩堝底面上設(shè)有凸臺，所述鍋托體設(shè)置于石墨坩堝下面，鍋托體由鍋托臺和支架構(gòu)成，鍋托臺為一個直徑逐漸增大的圓柱形腔體，鍋托臺與石墨坩堝相接觸的表面上設(shè)有與凸臺相適應(yīng)的卡槽，支架設(shè)置于鍋托臺的下表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的加熱裝置，其特征在于:所述凹槽為正方形，深度為邊長為 Smm-10mnin
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的加熱裝置，其特征在于:所述凹槽均布于石墨坩堝表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的加熱裝置，其特征在于:所述石墨坩堝為一個直徑逐漸減小的筒狀結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種單晶爐的加熱裝置，包括石墨坩堝和鍋托體，所述石墨坩堝表面上設(shè)有若干個凹槽，石墨坩堝底面上設(shè)有凸臺，所述鍋托體設(shè)置于石墨坩堝下面，鍋托體由鍋托臺和支架構(gòu)成，鍋托臺為一個直徑逐漸增大的圓柱形腔體，鍋托臺與石墨坩堝相接觸的表面上設(shè)有與凸臺相適應(yīng)的卡槽，支架設(shè)置于鍋托臺的下表面。本使用新型具有導(dǎo)熱快，加熱均勻，裝置牢固，結(jié)構(gòu)簡單，使用壽命長等特點。
【IPC分類】C30B15-14, C30B15-10
【公開號】CN104711669
【申請?zhí)枴緾N201310684221
【發(fā)明人】潘燕萍
【申請人】常州市天龍光電設(shè)備有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2013年12月12日