本發(fā)明涉及成膜裝置以及成膜方法。

背景技術(shù)：

1、已知有對基板蒸鍍以蒸鍍物質(zhì)來進(jìn)行成膜的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)1中公開了一邊使蒸鍍源移動一邊向基板放出蒸鍍物質(zhì)來進(jìn)行成膜的技術(shù)。有時通過一邊使蒸鍍源移動一邊成膜，能降低因蒸鍍源的結(jié)構(gòu)或個體差異所導(dǎo)致的不均，能提高基板上的膜厚分布的均勻性。

2、在先技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：日本特開2004－307880號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的課題

2、在專利文獻(xiàn)1的技術(shù)中，沒有用于判斷基板的當(dāng)前成膜狀態(tài)的信息，在成膜品質(zhì)的管理以及反映當(dāng)前成膜狀態(tài)的控制的方面，尚有改進(jìn)的余地。

3、本發(fā)明的目的在于提供能判斷基板的當(dāng)前成膜狀態(tài)的技術(shù)。

4、用于解決課題的方案

5、根據(jù)本發(fā)明，提供一種成膜裝置，其特征在于，

6、上述成膜裝置具備：

7、第一蒸鍍機構(gòu)，該第一蒸鍍機構(gòu)向基板放出蒸鍍物質(zhì)；

8、移動機構(gòu)，該移動機構(gòu)在蒸鍍物質(zhì)相對于上述基板的放出期間使上述第一蒸鍍機構(gòu)沿著關(guān)于軸的圓形軌道移動；以及

9、第一監(jiān)視機構(gòu)，該第一監(jiān)視機構(gòu)監(jiān)視蒸鍍物質(zhì)相對于上述基板的放出狀態(tài)。

10、發(fā)明的效果

11、根據(jù)本發(fā)明，可提供能判斷基板的當(dāng)前成膜狀態(tài)的技術(shù)。

技術(shù)特征：

1.一種成膜裝置，其特征在于，

2.如權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

3.如權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

4.如權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，

5.如權(quán)利要求4所述的成膜裝置，其特征在于，

6.如權(quán)利要求4所述的成膜裝置，其特征在于，

7.如權(quán)利要求4所述的成膜裝置，其特征在于，

8.一種成膜方法，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供成膜裝置以及成膜方法。成膜裝置具備：第一蒸鍍機構(gòu)，該第一蒸鍍機構(gòu)向基板放出蒸鍍物質(zhì)；移動機構(gòu)，該移動機構(gòu)在蒸鍍物質(zhì)相對于上述基板的放出期間使上述第一蒸鍍機構(gòu)沿著關(guān)于軸的圓形軌道移動；以及第一監(jiān)視機構(gòu)，該第一監(jiān)視機構(gòu)監(jiān)視蒸鍍物質(zhì)相對于上述基板的放出狀態(tài)。

技術(shù)研發(fā)人員：青沼大介,安川英宏,市原正浩,長岡健
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能特機株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/26